[实用新型]一种热泵系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种热泵系统。

背景技术

光刻机在曝光过程中对湿度有较严格的要求，湿度低于40％会产生静电容易将电路击穿，湿度大于60％容易产生氧化膜，因此在曝光过程中需要控制光刻机内的湿度。

目前光刻机采用的加湿技术主要是蒸汽加湿和超声波加湿，以蒸汽加湿为例，光刻机内35％湿度若被加湿到55％的湿度，风量3000m³/h大概需要10KW的加热量和6kg/h的来自FAB厂(制造厂)的水，消耗了大量的资源。

因此有必要在加湿过程中，减少资源的消耗，而这种技术问题目前还没有的到很好的解决。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种热泵系统，以解决在现有控温控湿过程中资源消耗大的问题。

一种热泵系统，用于对目标室进行控温控湿，包括压缩机、膨胀阀、供水单元、第一换热单元、第二换热单元、第三换热单元、第一换向阀、第二换向阀、第三换向阀、第四换向阀和加热器；其中：

所述膨胀阀连接第一换热单元和第二换热单元

所述第一换向阀分别连接所述第一换热单元、第二换热单元和压缩机；

所述第二换向阀分别连接所述第一换热单元、第二换热单元和供水单元；

所述第三换向阀分别连接所述第一换热单元、第二换热单元和加热器；

所述第四换向阀分别连接所述第一换热单元、第二换热单元及第三换热单元；

所述第一换热单元分别连接所述压缩机、第二换热单元及供水单元；

所述第二换热单元分别连接所述压缩机、供水单元及加热器；

所述第三换热单元分别连接所述第一换热单元、第二换热单元、加热器及目标室。

可选的，所述第一换向阀、第二换向阀、第三换向阀和第四换向阀均为四通阀。

可选的，所述第一换热单元包括相连接的第一换热器和第三换热器，所述第二换热单元包括相连接的第二换热器和第四换热器，所述第三换热单元包括相连接的风机和第五换热器；

所述第一换向阀的第一端口连接所述第一换热器、第二端口连接所述第二换热器、第三端口和第四端口均与所述压缩机连接；

所述第二换向阀的第一端口连接所述第一换热器、第二端口连接所述第二换热器、第三端口和第四端口均与所述供水单元连接；

所述第三换向阀的第一端口连接所述第三换热器、第二端口连接所述第四换热器、第三端口连接所述加热器、第四端口连接所述供水单元；

所述第四换向阀的第一端口连接所述风机、第二端口连接所述第三换热器、第三端口连接所述目标室、第四端口连接所述第四换热器；所述膨胀阀位于所述第一换热器和所述第二换热器之间。

可选的，所述第三换热器表面具有吸水材料层。

可选的，所述第四换热器表面具有吸水材料层。

可选的，所述供水单元包括水箱、水泵和冷却水循环供给厂，所述水泵连接第二换向阀的第三端口和水箱，所述水箱与第五换热器连接，所述冷却水循环供给厂与所述第二换向阀的第四端口及所述第三换向阀的第四端口连接。

可选的，所述第一换向阀的第一端口连接第四端口，所述第一换向阀的第二端口连接第三端口；

所述第二换向阀的第一端口连接第四端口，所述第二换向阀的第二端口连接第三端口；

所述第三换向阀的第一端口连接第四端口，所述第三换向阀的第二端口连接第三端口；

所述第四换向阀的第一端口连接第二端口，所述第四换向阀的第四端口连接第三端口。

可选的，所述第一换向阀的第一端口连接第三端口，所述第一换向阀的第二端口连接第四端口；

所述第二换向阀的第一端口连接第三端口，所述第二换向阀的第二端口连接第四端口；

所述第三换向阀的第一端口连接第三端口，所述第三换向阀的第二端口连接第四端口；

所述第四换向阀的第一端口连接第四端口，所述第四换向阀的第二端口连接第三端口。

相应的，本实用新型还提供一种利用上述热泵系统进行控温控湿的光刻机。

本实用新型提供的热泵系统主要应用于光刻装备中，也可应用于所有需要控湿的装备中，通过换向阀的改变方向，使第一换热单元和第二换热单元分别充当冷凝和蒸发的角色，从而实现了液态水和水蒸气的循环，有效的解决了能源消耗大的问题。

本实用新型的其他技术特征，将结合附图在实施例中具体说明。

附图说明

图1是本实用新型一实施例中热泵系统的结构示意图；