[实用新型]一种热泵系统

权利要求书

1.一种热泵系统，用于对目标室进行控温控湿，其特征在于，包括压缩机、膨胀阀、供水单元、第一换热单元、第二换热单元、第三换热单元、第一换向阀、第二换向阀、第三换向阀、第四换向阀和加热器；其中：

所述膨胀阀连接第一换热单元和第二换热单元

所述第一换向阀分别连接所述第一换热单元、第二换热单元和压缩机；

所述第二换向阀分别连接所述第一换热单元、第二换热单元和供水单元；

所述第三换向阀分别连接所述第一换热单元、第二换热单元和加热器；

所述第四换向阀分别连接所述第一换热单元、第二换热单元及第三换热单元；

所述第一换热单元分别连接所述压缩机、第二换热单元及供水单元；

所述第二换热单元分别连接所述压缩机、供水单元及加热器；

所述第三换热单元分别连接所述第一换热单元、第二换热单元、加热器及目标室。

2.如权利要求1所述的热泵系统，其特征在于，所述第一换向阀、第二换向阀、第三换向阀和第四换向阀均为四通阀。

3.如权利要求2所述的热泵系统，其特征在于，所述第一换热单元包括相连接的第一换热器和第三换热器，所述第二换热单元包括相连接的第二换热器和第四换热器，所述第三换热单元包括相连接的风机和第五换热器；

所述第一换向阀的第一端口连接所述第一换热器、第二端口连接所述第二换热器、第三端口和第四端口均与所述压缩机连接；

所述第二换向阀的第一端口连接所述第一换热器、第二端口连接所述第二换热器、第三端口和第四端口均与所述供水单元连接；

所述第三换向阀的第一端口连接所述第三换热器、第二端口连接所述第四换热器、第三端口连接所述加热器、第四端口连接所述供水单元；

所述第四换向阀的第一端口连接所述风机、第二端口连接所述第三换热器、第三端口连接所述目标室、第四端口连接所述第四换热器；所述膨胀阀位于所述第一换热器和所述第二换热器之间。

4.如权利要求3所述的热泵系统，其特征在于，所述第三换热器表面具有吸水材料层。

5.如权利要求3所述的热泵系统，其特征在于，所述第四换热器表面具有吸水材料层。

6.如权利要求3所述的热泵系统，其特征在于，所述供水单元包括水箱、水泵和冷却水循环供给厂，所述水泵连接第二换向阀的第三端口和水箱，所述水箱与第五换热器连接，所述冷却水循环供给厂与所述第二换向阀的第四端口及所述第三换向阀的第四端口连接。

7.如权利要求3所述的热泵系统，其特征在于，所述第一换向阀的第一端口连接第四端口，所述第一换向阀的第二端口连接第三端口；

所述第二换向阀的第一端口连接第四端口，所述第二换向阀的第二端口连接第三端口；

所述第三换向阀的第一端口连接第四端口，所述第三换向阀的第二端口连接第三端口；

所述第四换向阀的第一端口连接第二端口，所述第四换向阀的第四端口连接第三端口。

8.如权利要求3所述的热泵系统，其特征在于，所述第一换向阀的第一端口连接第三端口，所述第一换向阀的第二端口连接第四端口；

所述第二换向阀的第一端口连接第三端口，所述第二换向阀的第二端口连接第四端口；

所述第三换向阀的第一端口连接第三端口，所述第三换向阀的第二端口连接第四端口；

所述第四换向阀的第一端口连接第四端口，所述第四换向阀的第二端口连接第三端口。

9.一种利用权利要求1至8中任一所述的热泵系统进行控温控湿的光刻机。