[实用新型]一种真空镀膜机有效
申请号: | 201720077975.3 | 申请日: | 2017-01-22 |
公开(公告)号: | CN206706186U | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 周斌迁 | 申请(专利权)人: | 台州豪达机电有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 317300 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜设备技术领域,更具体地说,它涉及一种真空镀膜机。
背景技术
真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量,需要及时有效的进行冷却,以确保其正常工作,目前常见的冷却装置为在真空镀膜腔体外侧表面焊接圆管,在圆管内通冷却水来冷却,这种结构,冷却水与真空镀膜腔体的接触面积小,从而达不到良好的冷却效果,并且圆管内的冷却水只要靠近真空镀膜腔体表面的冷却水才能起到冷却效果,不能充分将圆管内的冷却水发挥冷却效果,从而导致冷却效果差,冷却速度面,很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种具有冷却装置且冷却效果好,冷却速度快的真空镀膜机。
为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:一种真空镀膜机,包括机架,机架上设有真空镀膜腔体,其特征是:所述机架上还设有冷却装置,冷却装置包括设置于真空镀膜腔体上的冷却组件,冷却组件包括设置与真空镀膜腔体上的若干第一导流通道,所述第一导流通道沿其长度方向设有进水口和出水口,第一导流通道的一部分置于真空镀膜腔体内,第一导流通道均布于真空镀膜腔体的外壁上,第一导流通道内设有若干导热壁,导热壁的内壁和第一导流通道的内壁之间形成有第二导流通道,各导热壁的外壁相抵触,导热壁结构均为圆弧状。
本实用新型进一步设置为:所述冷却组件还包括设置于导热壁上的扰流块。
本实用新型进一步设置为:所述第一导流通道为四个,机架上设有用于驱动各个第一导流通道进水口进水的水泵。
本实用新型进一步设置为:所述第一导流通道的纵向截面可以为圆形。
本实用新型进一步设置为:所述第一导流通道的纵向截面可以为方形。
通过采用上述技术方案,有益效果:1.通过在机架上设有冷却装置,冷却装置包括设置于真空镀膜腔体上的冷却组件,冷却组件包括设置与真空镀膜腔体上的若干第一导流通道,第一导流通道沿其长度方向设有进水口和出水口,第一导流通道的一部分置于真空镀膜腔体内,第一导流通道均布于真空镀膜腔体的外壁上,将第一导流通道的一部分置于真空镀膜腔体内,使得真空镀膜腔体内的热量能够进一步得到散发,从而增加散热效果。
2.通过在第一导流通道内设有若干导热壁,导热壁的内壁和第一导流通道的内壁之间形成有第二导流通道,各导热壁的外壁相抵触,导热壁结构均为圆弧状,通过在第一导流通道内设有若干导热壁,可以将真空腔体内的热量得到进一步的传导,同时还能进一步的保证充分发挥冷却水的冷却效果。
3.冷却组件还包括设置于导热壁上的扰流块,通过设置的扰流块,增加了对冷却水的扰动效果,可以有效果的利用冷却水的冷却效果,从而增加对真空镀膜腔体的冷却效果。
4.通过将第一导流通道设置为四个,保证了均匀冷却的效果,从而增加冷却速度,并且通过在机架上设有用于驱动各个第一导流通道进水的水泵,将各第一导流通道均设置有进水口和出水口,而不是将冷却水循环利用,从而进一步增加了对真空镀膜腔体的冷却效果。
附图说明
图1为本实用新型一种真空镀膜机实施例的侧视结构示意图。
图2为本实用新型一种真空镀膜机实施例的真空镀膜腔体的剖视结构示意图。
图3为本实用新型一种真空镀膜机实施例的实施例2真空镀膜腔体的剖视结构示意图。
图中附图标记,1-机架,2-真空镀膜腔体,20-第一导流通道,201-进水口,202-出水口,21-导热壁,22-第二导流通道,23-扰流板,3-水泵。
具体实施方式
参照图1至图3对本实用新型一种真空镀膜机实施例做进一步说明。
实施例1
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