[实用新型]一种真空镀膜机有效
| 申请号： | 201720077975.3 | 申请日： | 2017-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN206706186U | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 周斌迁 | 申请（专利权）人： | 台州豪达机电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 317300 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜机，包括机架，机架上设有真空镀膜腔体，其特征是：所述机架上还设有冷却装置，冷却装置包括设置于真空镀膜腔体上的冷却组件，冷却组件包括设置与真空镀膜腔体上的若干第一导流通道，所述第一导流通道沿其长度方向设有进水口和出水口，第一导流通道的一部分置于真空镀膜腔体内，第一导流通道均布于真空镀膜腔体的外壁上，第一导流通道内设有若干导热壁，导热壁的内壁和第一导流通道的内壁之间形成有第二导流通道，各导热壁的外壁相抵触，导热壁结构均为圆弧状。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征是：所述冷却组件还包括设置于导热壁上的扰流块。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机，其特征是：所述第一导流通道为四个，机架上设有用于驱动各个第一导流通道进水的水泵。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机，其特征是：所述第一导流通道的纵向截面为圆形。
5.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机，其特征是：所述第一导流通道的纵向截面为方形。
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