[实用新型]溅镀旋转靶磁棒总成有效
| 申请号： | 201720055779.6 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN206418193U | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 霍凯;陈宥廷 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 靶磁棒 总成 | ||
【权利要求书】：
1.溅镀旋转靶磁棒总成，其特征在于：包括磁座本体以及强磁，所述强磁粘附于磁座本体外，所述强磁由S极强磁和N极强磁间隔设置，相邻所述的S极强磁和N极强磁之间间隔一定距离。
2.根据权利要求1所述的溅镀旋转靶磁棒总成，其特征在于：相邻所述S极强磁和N极强磁之间间隔距离为20-25mm。
3.根据权利要求2所述的溅镀旋转靶磁棒总成，其特征在于：优选的相邻所述S极强磁和N极强磁之间间隔距离为22mm。
4.根据权利要求1所述的溅镀旋转靶磁棒总成，其特征在于：粘附所述强磁的磁座本体安装于腔体内。
5.根据权利要求4所述的溅镀旋转靶磁棒总成，其特征在于：所述腔体连接电源的正极，所述磁座本体连接电源的负极。
6.根据权利要求1所述的溅镀旋转靶磁棒总成，其特征在于：相邻所述S极强磁和N极强磁之间还设有垫片。
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