[实用新型]一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪有效
| 申请号： | 201720045882.2 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN206410784U | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 李钦明;杨家岳;丁洪利;陶凯;张未卿;杨学明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司11251 | 代理人： | 杨学明,顾炜 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 功率 脉冲 真空 紫外光 强度 测量仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪，其特征在于：包括真空腔体(1)、金属光强衰减装置(2)、光电二极管基座(3)、光电二极管(4)、真空引线装置(5)、直流稳压电源(6)、测量电路单元(7)和示波器(8)，金属光强衰减装置(2)置于光电二极管(4)之前，光电二极管(4)安装在光电二极管基座(3)上，金属光强衰减装置(2)、光电二极管基座(3)和光电二极管(4)置于真空腔体(1)中；用真空引线装置(5)把光电二极管(4)两个引脚信号引出真空腔体(1)外；两个引脚信号接入测量电路单元(7)信号输入端，直流稳压电源(6)输出接入测量电路单元(7)直流输入端，测量电路单元(7)的信号输出端接一示波器(8)。
2.根据权利要求1所述的一种变功率脉冲真空紫外光强度测量仪，其特征在于：金属光强衰减装置(2)包括金属光强衰减片，通过改变金属光强衰减片的组合来获得不同的衰减系数，用来测量变功率脉冲真空紫外光。
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