[实用新型]扩散器及PECVD设备有效
| 申请号： | 201720043554.9 | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN207002827U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | N·南比亚尔;天田欣也 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C22C21/00 | 分类号： | C22C21/00;C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散器 pecvd 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于处理基板的扩散器，包含：
主体，所述主体具有通过所述主体布置的多个通道，所述主体包含锌减少的6061铝合金。
2.一种用于等离子体增强化学气相沉积腔室中的扩散器，包含：
主体，所述主体具有通过所述主体布置的多个通道，所述主体包含锌减少的6061铝合金，其中所述扩散器适于在具有高于400℃的温度的环境中的操作。
3.一种PECVD设备，包含：
用于处理基板的扩散器，所述扩散器包含：
主体，所述主体通过一或多个紧固机构和喷头悬挂件机构被耦接到背板，所述主体包含锌减少的6061铝合金。
4.如权利要求3所述的设备，其特征在于，气源被耦接到所述背板。
5.如权利要求3所述的设备，其特征在于，所述主体被布置在与基板支撑件相对的处理空间中。
6.如权利要求3所述的设备，其特征在于，所述主体被耦接到射频电源。
7.如权利要求3所述的设备，其特征在于，所述铝合金在大于约400℃的温度下大体上非易挥发。
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