[实用新型]一种微悬臂梁阵列循环扫描系统

权利要求书

1.一种微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是：设置由M个扫描单元所构成的循环扫描系统的结构形式为：

以固定设置的同一只激光器(1)作为M个扫描单元的共用激光光源，所述激光器(1)固定地呈水平发出激光光束；

以M根微悬臂梁构成微悬臂梁阵列，针对M根微悬臂梁一一对应设置M只平面反射镜；所述M只平面反射镜共同固定设置在同一只转动台(10)的不同位置上；驱动转动台(10)的转动，使M只平面反射镜随着转动台(10)的转动逐一地处在所述激光光束的光路中，并在所述M只平面反射镜上逐一地形成不同位置上的M束反射光，所述M束反射光逐一地且一一对应地投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端，构成微悬臂梁阵列扫描系统，驱动转动台(10)循环转动，经转动台(10)上平面反射镜的反射，实现对微悬臂梁阵列的循环扫描。

2.根据权利要求1所述的微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是：

所述微悬臂梁阵列中M只微悬臂梁间隔且并列设置，各微悬臂梁的自由端处在同一直线A上，所述直线A与所述激光光束的方向平行；

所述M只平面反射镜围绕转动台的外周固定安装，各平面反射镜在转动台上具有各自不同的径向位置；驱动转动台步进式转动能够使激光光束逐一地在各平面反射镜上形成入射角为45°的入射光，并在所述M只平面反射镜上逐一地形成出射角亦为45°的出射光，所述出射光竖直向下；根据各微悬臂梁的间隔距离，设置各平面反射镜在转动台上各自所处的径向位置，使M束反射光逐一地且一一对应地投照在微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端。

3.根据权利要求1或2所述的微悬臂梁阵列循环扫描系统，其特征是：在所述平面反射镜与微悬臂梁之间设置出射光遮光板(4)，在所述出射光遮光板(4)上与微悬臂梁阵列中各微悬臂梁的自由端一一对应地设置反射光透光孔，使反射光按反射光透光孔的直径投向微悬臂梁的自由端，设置所述反射光透光孔的直径与微悬臂梁的自由端的宽度相等。