[实用新型]一种硅片超声清洗机水循环系统有效
| 申请号： | 201720040088.9 | 申请日： | 2017-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN206483773U | 公开（公告）日： | 2017-09-12 |
| 发明（设计）人： | 严徇成;张亚超;何迎辉 | 申请（专利权）人： | 淮安金太阳电力有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所32223 | 代理人： | 李杰 |
| 地址： | 223300 江苏省淮*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 超声 清洗 水循环 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片超声清洗机水循环系统，所述硅片超声清洗机设置有多道顺序排列的清洗水槽（1），多道所述清洗水槽（1）分别通过溢流口连通有溢流水槽（2），其特征在于：所述溢流水槽（2）包括至少两个相互隔离的腔室，位于后部的数道清洗水槽（1）连通溢流水槽（2）的同一腔室，该腔室通过设置有水泵（5）的管道（3）连通位于前部的清洗水槽（1）。
2.如权利要求1所述的一种硅片超声清洗机水循环系统，其特征在于：所述清洗水槽（1）共有10道，第6~10道连通溢流水槽（2）的同一腔室，该腔室通过管道（3）连通第1~3道清洗水槽（1）。
3.如权利要求1所述的一种硅片超声清洗机水循环系统，其特征在于：所述管道（3）还连通硅片插片机的水箱（4）。
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