[实用新型]带有抽真空系统的平板式PECVD进料腔

权利要求书

1.一种带有抽真空系统的平板式PECVD进料腔，该进料腔呈中空状；其特征在于，在进料腔的底部设有多条气道，各气道的一端在进料腔底部中央交汇互通形成中心出口；各气道的另一端则均匀分布在进料腔底部的四周，且仅在该端部设置连接进料腔的气道入口；所述中心出口通过真空管道连接至真空泵，在中心出口与真空管道相接处设过滤网。

2.根据权利要求1所述的平板式PECVD进料腔，其特征在于，所述气道是设在进料腔底部的凹陷的条形槽，各气道及中心出口的上部设盖板使进料腔的底部保持平面状态。

3.根据权利要求1所述的平板式PECVD进料腔，其特征在于，所述气道有四条且呈十字形布置，或者气道有八条且呈米字形布置。

4.根据权利要求1至3任意一项中所述的平板式PECVD进料腔，其特征在于，所述真空管道上设有角阀。

5.根据权利要求2所述的平板式PECVD进料腔，其特征在于，所述气道上部的盖板与中心出口上部的盖板是分离式的。