[实用新型]一种镜片真空镀膜用的坩埚装置有效
| 申请号: | 201720019418.6 | 申请日: | 2017-01-06 |
| 公开(公告)号: | CN206408286U | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
| 发明(设计)人: | 李辉华;张慧;聂波;何易;张平;李小梅 | 申请(专利权)人: | 中山市优度光学科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
| 代理公司: | 中山市高端专利代理事务所(特殊普通合伙)44346 | 代理人: | 钟作亮 |
| 地址: | 528400 广东省中山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 镜片 真空镀膜 坩埚 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及镜片镀膜领域,尤其涉及一种镜片真空镀膜用的坩埚装置。
背景技术
镜片真空镀膜工艺过程包括对真空镀膜机抽真空,使真空室处于真空状态,再通过电子枪束流对真空室底部坩埚内的镀膜材料加热,镀膜材料在加热到一定的温度后,镀膜材料会产生升华,升华出的镀膜材料分子沉积在真空室上部的产品表面形成薄膜。
现有技术的坩埚上设有圆形或矩形的放料槽,在放料槽内放置镀膜材料。工作时,坩埚转动,坩埚一侧的电子枪对放料槽内的镀膜材料加热,使镀膜材料升华。然而,圆形或矩形的放料槽设置在坩埚上,放料槽之间有空隙,当空隙转到电子枪前面时,电子枪并不能对准镀膜材料加热,导致镀膜材料升华量随时间而变化,可能会造成镀膜不均匀,且造成了资源浪费,生产效率较低。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型所要解决的技术问题是如何使镀膜材料均匀蒸出,提高生产效率。
为解决上述技术问题,本实用新型所采用的技术方案是:
提供一种镜片真空镀膜用的坩埚装置,包括转动盘,所述转动盘上设有环形的坩埚,所述坩埚由转动盘带动转动;所述坩埚上面设有环形的用于放置镀膜材料的放料槽。
进一步地,所述坩埚一侧设有电子枪。
本实用新型能够取得以下有益效果:
本实用新型在环形的坩埚上设有环形的放料槽,蒸镀时电子枪能够均匀地对镀膜材料进行加热,改善了产品质量,提高了效率。
附图说明
图1是本实用新型的立体结构示意图。
具体实施方式:
以下将结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明:
如图1所示的一种镜片真空镀膜用的坩埚装置,包括转动盘1,所述转动盘1上设有环形的坩埚2,所述坩埚2由转动盘1带动转动;所述坩埚2上面设有环形的用于放置镀膜材料的放料槽3。所述坩埚2一侧设有电子枪4。
本实用新型工作时,转动盘1带动坩埚2转动,电子枪4对放料槽3内的镀膜材料进行加热。由于放料槽3是环形结构,坩埚2转动时任何时候放料槽3内的镀膜材料均位于电子枪4旁,能够均匀地使镀膜材料加热升华,改善了镜片的镀膜效果,提高了生产效率。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出的是,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也不超出本实用新型记载的范围。
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