[实用新型]一种镜片真空镀膜用的坩埚装置有效
| 申请号: | 201720019418.6 | 申请日: | 2017-01-06 |
| 公开(公告)号: | CN206408286U | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
| 发明(设计)人: | 李辉华;张慧;聂波;何易;张平;李小梅 | 申请(专利权)人: | 中山市优度光学科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
| 代理公司: | 中山市高端专利代理事务所(特殊普通合伙)44346 | 代理人: | 钟作亮 |
| 地址: | 528400 广东省中山市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 镜片 真空镀膜 坩埚 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种镜片真空镀膜用的坩埚装置,其特征在于包括转动盘(1),所述转动盘(1)上设有环形的坩埚(2),所述坩埚(2)由转动盘(1)带动转动;所述坩埚(2)上面设有环形的用于放置镀膜材料的放料槽(3)。
2.根据权利要求1所述的一种镜片真空镀膜用的坩埚装置,其特征在于所述坩埚(2)一侧设有电子枪(4)。
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