[实用新型]一种涡轮分子泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种分子泵，具体涉及一种涡轮分子泵。

背景技术

分子泵是用于对一个封闭的真空腔在分子流及接近分子流区域内抽真空，使用冷阱或挡板，得到一个较高的真空。

现有技术中，用滚子轴承支撑转子元件的两个轴承元件，以浮动方式支撑转子轴，高真空侧上的支承元件朝向预真空侧移位，使得转子轴向外突出。因此，轴承元件移动到低压力区域中，润滑剂的排出不再发生或仅以可接受的程度发生。然而，以便确保足够的稳定性，以浮动方式支撑的转子轴具有重量大的缺点。此外，分子泵出口耐压不高，高压强区的抽速有待提高。

实用新型内容

1.要解决的技术问题

基于现有技术中存在的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种涡轮分子泵。

2.技术方案

本实用新型的目的主要通过以下的技术方案来实现。

一种涡轮分子泵，包括具有多个转子叶片的至少一个转子元件，所述转子叶片通过转子元件支撑在壳体中；至少一个定子元件，包括在转子叶片之间突出的多个定子叶片；以及布置在转子轴的端部区域中的至少两个轴承元件，其中高真空侧上的轴承元件形成为滚子轴承并且布置在腔室中，该腔室经由至少一个通道连接到压力区域，该腔室中的压力高于高真空区域中的压力。

优选地，所述腔室至少部分地由与所述壳体直接或间接连接的轴承接收元件形成。

优选地，所述轴承接收元件通过星形的支撑元件与所述壳体连接。

优选地，还包括布置在所述轴承接收元件和所述转子元件之间的垫圈元件。

优选地，其中所述垫圈元件布置在由所述轴承接收元件和所述转子元件形成的环形间隙中。

优选地，其中所述垫圈元件包括迷宫式密封件。

3.有益效果

与现有技术相比，本实用新型的一种涡轮分子泵的有益效果在于：

轴承元件布置在转子轴的两个端部，预真空侧上的轴承元件优选滚动轴承，更为经济实用。根据本技术方案，由于高真空侧支承元件在室中的布置，腔室中的压力不是高真空区域中存在的低压力，而是更高的压力。可以提高出口耐压以及使分子泵高压强区的抽速提高。根据本技术方案，提供经由通道连接到相应的压力区域的腔室使得可以通过在高真空侧上的滚子轴承支撑转子轴。因此，可以显着地降低成本。

附图说明

图1是依照本实用新型优选实施例构成的一种涡轮分子泵的结构的示意性剖视图。

图中：

1-转子轴、2-高真空侧上的轴承元件、3-预真空侧上的轴承元件、4-壳体、5-转子元件、6-转子叶片、7-定子叶片、8-定子环、9-电动机、10-保持元件、11-分子泵的出口、12-分子泵的入口、13-高真空区域、14-腔室、15-轴承容纳元件、16-盖、17-支撑元件、18-开口、19-转子中的通道、20-预真空区域、21-垫圈元件、22-表面、23-侧表面、24-环形间隙。

具体实施方式

在下文中，将参考附图对本实用新型的具体实施例进行详细地描述，依照这些详细的描述，所属领域技术人员能够清楚地理解本实用新型，并能够实施本实用新型。在不违背本实用新型原理的情况下，各个不同的实施例中的特征可以进行组合以获得新的实施方式，或者替代某些实施例中的某些特征，获得其它优选的实施方式。

图1示出了依照本实用新型优选实施例构成的一种涡轮分子泵的结构。如图1所示，一种涡轮分子泵，包括转子轴1，转子轴1通过在高真空侧上的轴承元件2和在预真空侧上的轴承元件3可旋转地支撑在壳体4中。转子轴1承载具有多个转子叶片6的转子元件5。在每两个相邻的转子叶片6之间设置有定子叶片7。定子叶片7通过定子环8固定在壳体4中，在所示的实施例中，定子元件由定子叶片7和定子环8形成。

在所示的实施例中，转子轴由电动机9驱动。

预真空侧上的轴承元件3由保持元件10承载。保持元件10与壳体4连接并且包括涡轮分子泵的出口11。

为了排空未示出并与涡轮分子泵连接的空间，介质从空间通过真空泵的入口12朝向出口11输送。

根据本实施例，轴承元件2设置在高真空区域13中，轴承元件2被布置在腔室14中并设计为滚子轴承。在所示的实施例中，转子轴1的高真空侧端部突出腔室14，并由轴承接收元件15支撑。入口12、腔室14具有盖16，盖16跨越转子轴1的高真空侧端，使得其不通过盖16突出。在所示的实施例中，盖16固定地与轴承接收元件15连接。