[实用新型]一种涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201720011931.0 | 申请日： | 2017-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN206439203U | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王建强;郭金虎;吕建文;唐华;葛虎虎;郑超;刘旭昌;王耀鹏;刘佩;马诚;马超;韩茜;张钊;刘璠璠;王钊;杨冲;杨兴;周宝林;何均;崔雪荣;颉金劳;王超锋;马少创;王团结;刘战卫;王珍珍 | 申请（专利权）人： | 陕西华通机电制造有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/056;F04D29/08 |
| 代理公司： | 北京智桥联合知识产权代理事务所(普通合伙)11560 | 代理人： | 鲍相如 |
| 地址： | 712000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 涡轮 分子 | ||
【权利要求书】：
1.一种涡轮分子泵，其特征在于，包括具有多个转子叶片的至少一个转子元件，所述转子叶片通过转子元件支撑在壳体中；至少一个定子元件，包括在转子叶片之间突出的多个定子叶片；以及布置在转子轴的端部区域中的至少两个轴承元件，其中高真空侧上的轴承元件形成为滚子轴承并且布置在腔室中，该腔室经由至少一个通道连接到压力区域，该腔室中的压力高于高真空区域中的压力。
2.如权利要求1所述的一种涡轮分子泵，其特征在于，所述腔室至少部分地由与所述壳体直接或间接连接的轴承接收元件形成。
3.如权利要求2所述的一种涡轮分子泵，其特征在于，所述轴承接收元件通过星形的支撑元件与所述壳体连接。
4.如权利要求2所述的一种涡轮分子泵，其特征在于，还包括布置在所述轴承接收元件和所述转子元件之间的垫圈元件。
5.如权利要求4所述的一种涡轮分子泵，其特征在于，其中所述垫圈元件布置在由所述轴承接收元件和所述转子元件形成的环形间隙中。
6.如权利要求4所述的一种涡轮分子泵，其特征在于，其中所述垫圈元件包括迷宫式密封件。
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