[实用新型]一种用于晶元生产中的废气处理装置有效
| 申请号： | 201720005916.5 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN206473973U | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 陈波;唐淋;余朝晃;郑敏;樊建银 | 申请（专利权）人： | 湖南新中合光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/00 | 分类号： | B01D53/00;B01D53/18;F23G7/06 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435 | 代理人： | 陈铭浩,冯晓欣 |
| 地址： | 416500 湖南省湘西土家族苗族自治州*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 生产 中的 废气 处理 装置 | ||
1.一种用于晶元生产中的废气处理装置，其特征在于，包括加热腔（1）、冷却腔（2）、废水腔（3）、集气腔（4），所述加热腔（1）为中空腔体，内部侧壁上设置有电热管（11），顶部设置有与内部腔体连通的废气集合管（12），侧边上部设置有空气管（13）；所述空气管（13）延伸至加热腔（1）内部与腔体内部的喷气管（15）相连；所述喷气管（15）上端延伸至加热腔（1）内壁顶部，且所述喷气管（15）表面设置有气孔（151）；加热腔（1）下端设置有与冷却腔（2）上端相连的耐高温气管（102），耐高温气管（102）与冷却腔（2）内部连通；所述冷却腔（2）的内壁顶部设置有喷淋头（22），下方设置有废水腔（3），侧面设置有与集气腔（4）相连的冷气管（304）；所述废水腔（3）通过水管（203）与喷淋头（22）相连。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶元生产中的废气处理装置，其特征在于，所述喷气管（15）下端以螺旋状向下延伸，所述气孔（151）均匀分布于螺旋表面。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于晶元生产中的废气处理装置，其特征在于，所述冷却腔（2）的内壁上部设置有倒八字型的中空隔板（21），所述隔板（21）下端表面上均匀设置有喷淋头（22）。
4.根据权利要求3所述的一种用于晶元生产中的废气处理装置，其特征在于，所述隔板（21）下方设置有与冷却腔（2）内侧壁相接的导板（23），所述导板（23）与隔板（21）平行；所述导板（23）的中间间隔处设置有可活动的活塞（24）；所述活塞（24）通过下端的弹簧（25）与基板（26）连接。
5.根据权利要求4所述的一种用于晶元生产中的废气处理装置，其特征在于，所述活塞（24）的截面为三角形。
6.根据权利要求1所述的一种用于晶元生产中的废气处理装置，其特征在于，所述集气腔（4）的上部设置有气水分离器（41），所述冷气管（304）通过气水分离器（41）与集气腔（4）相连。
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