[发明专利]一种OLED功能层喷墨打印制备方法及其掩膜板有效
申请号: | 201711498195.7 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108183179B | 公开(公告)日: | 2019-08-20 |
发明(设计)人: | 邓联谱 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜板 功能层 喷墨打印 缓冲层 疏水层 墨水材料 阵列通孔 掩模板 制备 喷墨打印工艺 对位贴合 基体表面 墨水干燥 生产效率 疏水处理 制备工艺 省略 像素 掩膜 生产工艺 沉积 去除 生产成本 | ||
本发明提供了一种OLED功能层喷墨打印制备方法,包括以下步骤:提供掩膜板基体,对掩膜板基体进行疏水处理,形成疏水层;在具有疏水层的掩膜板基体表面沉积缓冲层,形成掩膜板;将掩膜板的缓冲层与TFT阵列基板对位贴合,使掩模板阵列通孔与TFT阵列基板上预注入OLED功能层墨水材料的区域相对应设置;在掩模板上的阵列通孔处使用喷墨打印工艺,注入OLED HIL功能层墨水材料,再将掩膜板和TFT阵列基板一同进行干燥,使OLED功能层墨水干燥,随后去除掩膜板,得到OLED功能层。利用表面具有疏水层和缓冲层的掩膜板来采用喷墨打印法制备OLED功能层,省略了像素bank的制备工艺,大大简化了生产工艺,降低了生产成本,提高生产效率和OLED的质量。
技术领域
本发明属于OLED面板制备技术领域,具体涉及一种OLED功能层喷墨打印制备方法及其掩膜板。
背景技术
OLED因其优异的性能,现成为新兴热门的平板显示装置。目前为实现OLED全彩化主要采用喷墨打印技术。在喷墨打印技术中,为了使打印出来的液态材料更好的成型,需要在像素电极周围制备像素bank,再在像素bank区内注入OLED功能层墨水材料。但由于制作像素bank的流程相当繁琐,而且像素bank对像素电极的质量带来很大的影响。因此,现在亟待寻找一种新的方法去制备像素电极。
发明内容
本发明的目的在于提供一种OLED功能层喷墨打印制备方法,利用表面具有疏水层和缓冲层的掩膜板来注入OLED功能层墨水材料,省略了像素bank的制备工艺,大大简化了生产工艺,降低了生产成本,提高生产效率和OLED的质量。
本发明第一方面提供了一种OLED功能层喷墨打印制备方法,包括以下步骤:
提供掩膜板基体,对所述掩膜板基体进行疏水处理,形成疏水层,所述掩膜板基体上开设有阵列通孔,所述阵列通孔用于喷墨打印工艺时注入OLED功能层墨水材料,所述阵列通孔与预注入OLED功能层墨水材料的区域相对应设置;
在具有疏水层的所述掩膜板基体表面沉积缓冲层,形成掩膜板,所述掩膜板包括掩膜板基体、疏水层和缓冲层,所述疏水层设置在所述掩膜板基体相对的两侧,所述缓冲层设置在所述掩膜板基体一侧或相对两侧的所述疏水层上;
将所述掩膜板的缓冲层与TFT阵列基板对位贴合,使所述阵列通孔与所述TFT阵列基板上所述预注入OLED功能层墨水材料的区域相对应设置;
在所述阵列通孔处采用喷墨打印工艺注入所述OLED功能层墨水材料,再将所述掩膜板和所述TFT阵列基板一同进行干燥,使所述OLED功能层墨水材料干燥,随后去除所述掩膜板,得到OLED功能层。
其中,所述疏水层的材质为聚四氟乙烯、有机硅树脂、氟硅树脂或长链聚合物。
其中,所述疏水层采用蒸镀法或磁控溅射法制备而成。
其中,所述疏水层的厚度为20-50nm,所述缓冲层的厚度为1-10μm。
其中,所述缓冲层的材质为氧化硅、氮化硅、碳氧化硅、氮氧化硅或碳氮氧化硅。
其中,所述缓冲层采用等离子增强化学气相沉积法或喷墨打印法制备而成。
其中,所述疏水层覆盖所述阵列通孔的内壁。
其中,所述阵列通孔与所述预注入OLED功能层墨水材料的区域的大小和数量相等,所述阵列通孔与所述预注入OLED功能层墨水材料的区域的位置相同。
本发明第二方面提供了一种OLED,包括OLED功能层,所述OLED功能层如本发明第一方面提供的制备方法制备而成。
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