[发明专利]光罩存储装置在审
申请号: | 201711456006.X | 申请日: | 2017-12-28 |
公开(公告)号: | CN108181784A | 公开(公告)日: | 2018-06-19 |
发明(设计)人: | 魏德萌 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F1/66 | 分类号: | G03F1/66 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰 |
地址: | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光罩 箱门 闭合状态 存储装置 检测器 驱动结构 搬运 存储箱 存储装置结构 箱体转动 监控 检测 停机 存储 驱动 转换 | ||
本发明提供一种光罩存储装置,所述光罩存储装置包括用于存储光罩的存储箱、驱动结构及检测器,所述存储箱包括箱体和箱门,所述箱门与所述箱体转动连接,所述驱动结构与所述箱门连接,所述箱门具有打开状态和闭合状态,所述驱动结构用于驱动所述箱门在打开状态或闭合状态之间转换,所述检测器用于检测所述箱门是处于打开状态还是处于闭合状态。本发明提出的光罩存储装置通过检测器可以检测所述箱门是出于打开状态还是处于闭合状态,从而可以对光罩的搬运过程进行监控,整个光罩存储装置结构简单、能够自动对光罩的搬运过程进行监控、不会造成设备停机、降低了光罩搬运的风险。
技术领域
本发明涉及显示面板制造技术领域,尤其涉及一种光罩存储装置。
背景技术
在液晶显示面板的TFT阵列和彩色滤光片的生产过程中,通常需要利用光罩进行曝光处理。在显示面板生产产线中有专用的用于存储光罩的装置,光罩在使用后需要将其搬运至存储装置中进行存储,以便下次继续使用。在存储过程中,需要对光罩的搬运过程进行监控,现有的监控方法比较复杂,而且智能化程度比较低,在监控过程中经常造成设备停机,给光罩的搬运造成很大的风险。
发明内容
为了解决现有技术的不足,本发明提供一种光罩存储装置,能够自动对光罩的搬运过程进行监控,不会造成设备停机,降低了光罩搬运的风险。
本发明提出的具体技术方案为:提供一种光罩存储装置,所述光罩存储装置包括用于存储光罩的存储箱、驱动结构及检测器,所述存储箱包括箱体和箱门,所述箱门与所述箱体转动连接,所述驱动结构与所述箱门连接,所述箱门具有打开状态和闭合状态,所述驱动结构用于驱动所述箱门在打开状态或闭合状态之间转换,所述检测器用于检测所述箱门是处于打开状态还是处于闭合状态。
进一步地,所述检测器包括本体、发送端及接收端,所述发射端与所述接收端正对设置于所述本体上。
进一步地,所述本体固定于所述箱体上,所述光罩存储装置还包括设于所述箱门上的挡板,所述挡板在所述箱门处于闭合状态时位于所述发送端与所述接收端之间并遮挡所述接收端。
进一步地,所述本体固定于所述箱门上,所述光罩存储装置还包括设于所述箱体上的挡板,所述挡板在所述箱门处于闭合状态时位于所述发送端与所述接收端之间并遮挡所述接收端。
进一步地,所述挡板在所述箱门处于闭合状态时完全遮挡所述接收端。
进一步地,所述驱动结构包括转臂和气缸,所述气缸与所述转臂连接,所述转臂与所述箱门连接。
进一步地,所述转臂包括水平部及由所述水平部弯折延伸出的垂直部,所述水平部与所述气缸连接,所述垂直部与所述箱门连接。
进一步地,所述水平部与所述垂直部垂直。
进一步地,所述箱门处于打开状态时与所述箱体垂直。
本发明提出的光罩存储装置包括存储箱、驱动结构及检测器,所述存储箱包括箱体和箱门,所述箱门具有打开状态和闭合状态,所述驱动结构用于驱动所述箱门在打开状态或闭合状态之间转换,所述检测器可以检测所述箱门是出于打开状态还是处于闭合状态,从而可以对光罩的搬运过程进行监控,整个光罩存储装置结构简单、能够自动对光罩的搬运过程进行监控、不会造成设备停机、降低了光罩搬运的风险。
附图说明
下面结合附图,通过对本发明的具体实施方式详细描述,将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为光罩存储装置的结构示意图;
图2为光罩存储装置的另一结构示意图。
具体实施方式
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