[发明专利]光罩存储装置

权利要求书

1.一种光罩存储装置，其特征在于，包括用于存储光罩的存储箱、驱动结构及检测器，所述存储箱包括箱体和箱门，所述箱门与所述箱体转动连接，所述驱动结构与所述箱门连接，所述箱门具有打开状态和闭合状态，所述驱动结构用于驱动所述箱门在打开状态或闭合状态之间转换，所述检测器用于检测所述箱门是处于打开状态还是处于闭合状态。

2.根据权利要求1所述的光罩存储装置，其特征在于，所述检测器包括本体、发送端及接收端，所述发射端与所述接收端正对设置于所述本体上。

3.根据权利要求2所述的光罩存储装置，其特征在于，所述本体固定于所述箱体上，所述光罩存储装置还包括设于所述箱门上的挡板，所述挡板在所述箱门处于闭合状态时位于所述发送端与所述接收端之间并遮挡所述接收端。

4.根据权利要求2所述的光罩存储装置，其特征在于，所述本体固定于所述箱门上，所述光罩存储装置还包括设于所述箱体上的挡板，所述挡板在所述箱门处于闭合状态时位于所述发送端与所述接收端之间并遮挡所述接收端。

5.根据权利要求3或4所述的光罩存储装置，其特征在于，所述挡板在所述箱门处于闭合状态时完全遮挡所述接收端。

6.根据权利要求1所述的光罩存储装置，其特征在于，所述驱动结构包括转臂和气缸，所述气缸与所述转臂连接，所述转臂与所述箱门连接。

7.根据权利要求6所述的光罩存储装置，其特征在于，所述转臂包括水平部及由所述水平部弯折延伸出的垂直部，所述水平部与所述气缸连接，所述垂直部与所述箱门连接。

8.根据权利要求7所述的光罩存储装置，其特征在于，所述水平部与所述垂直部垂直。

9.根据权利要求1-8任一所述的光罩存储装置，其特征在于，所述箱门处于打开状态时与所述箱体垂直。