[发明专利]基板移送装置

说明书

本发明中的实施提供一种基板移送装置，包括：支撑单元，其设置于支撑基板的装载台上部；第一移送单元，其被所述支撑单元支撑；连接单元，其与所述第一移送单元连接；第二移送单元，其与所述连接单元连接；及，把持单元，其与所述第二移送单元连接并把持所述基板。

技术领域

本发明涉及一种基板移送装置，其用于向竖直(垂直)方向移送基板。

背景技术

通常，在制造平板显示器的液晶显示面板、有机电致发光显示器面板、无机电致发光显示器面板、透射投影基板、反射投影基板的工序中，会有移送如玻璃等脆性玻璃基板(以下称为“基板”)的过程。

为了向水平及竖直方向移送基板，会使用各种不同结构的基板移送装置。特别是，向竖直方向移送基板的装置需要向相反于重力方向的方向举起基板，需要具备滑动移动用于把持基板的把持单元的结构。作为滑动移动把持单元的结构可以适用于基板移送装置的结构，可以是使得滚珠螺杆竖直设置并且使得与把持单元连接的滚珠螺母随着滚珠螺杆移动的结构，或者，利用气压或液压将与把持单元连接的连接杆向竖直方向移动的结构。

在竖直设置滚珠螺杆，并沿着滚珠螺杆移动与把持单元连接的滚珠螺母的结构中，需要竖直立设滚珠螺杆，因此，为了设置基板移送装置需要确保预定的高度。

并且，如图1及图2所示，在利用驱动单元23向竖直方向移动与把持单元25连接的连接杆26的基板移送装置20中，容纳连接杆26的驱动单元23具有预定高度，因此，为了设置基板移送装置20需要确保高于从地面到驱动单元23的顶端为止的高度作业空间。

并且，还提出竖直设置可以分别执行如基板加工工序及基板切割工序等处理基板的多个工序的多个装置的方案。与水平设置多个装置的情况相比，多个装置竖直设置可以减少操作空间。多个装置竖直设置时，基板向竖直方向移动而传递至各个装置。为此，必须确保高于基板移送装置的高度的作业空间。但是，建筑物内的作业空间通常是限定的，在作业空间的高度限定的情况下，很难再加大作业空间的高度。因此，存在将装置竖直设置而减小作业空间的宽度的方案实际上很难实现的问题。

发明内容

为了上述现有技术中的问题，本发明的目的在于提供一种基板移送装置，在确保基板的竖直移送距离的同时，减少基板移送装置的设置所需的空间的竖直高度。

为了达到上述目的，本发明提供一种基板移送装置，包括：支撑单元，其设置于支撑基板的装载台上部；第一移送单元，其被所述支撑单元支撑；连接单元，其与所述第一移送单元连接；第二移送单元，其与所述连接单元连接；及把持单元，其与所述第二移送单元连接并把持所述基板。

所述第二移送单元可移动地连接于所述连接单元。

所述第一移送单元包括被所述支撑单元所支撑并竖直延长的第一导向部及沿着所述第一导向部移动的第一移动部，所述第二移送单元包括被所述连接单元所支撑并竖直延长的第二导向部及沿着所述第二导向部移动的第二移动部。

所述连接单元与所述第二导向部之间设置有用于相对于所述连接单元竖直移动所述第二导向部的移动装置。

在所述第一移动部上升至最高高度、所述第二移动部上升至最高高度的状态下，所述第二导向部的上端位于与所述第一导向部的上端相同的位置，或者所述第二导向部的上端位于所述第一导向部的上端的下方位置。

第一移送单元能够使连接单元沿竖直方向移动，第二移送单元能够使把持单元沿竖直方向移动。

连接单元与第二移送单元的第二导向部可移动地连接。

连接单元与第一移送单元的第一移动部连接。

把持单元与第二移送单元的第二移动部连接。

连接单元与第二移送单元的第二导向部固定连接。