[发明专利]抑制挥发性电解质溶液结晶的装置和方法有效
| 申请号： | 201711446352.X | 申请日： | 2017-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN108075180B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 尹易彪 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01M10/056 | 分类号： | H01M10/056;H01M10/058 |
| 代理公司： | 44304 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 孙伟峰;吕颖<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 杆状电极 挥发性电解质溶液 正负离子 容纳槽 磁极 挥发性电解质 通电状况 磁场 匀速圆周运动 运动方向垂直 电解质溶液 非均匀电场 盛装挥发性 电场 静止状态 电磁场 两端部 解离 限域 正交 平行 束缚 | ||
1.一种抑制挥发性电解质溶液结晶的装置，其特征在于，包括：
容纳槽，用于盛装挥发性电解质溶液；
杆状电极，置于所述容纳槽内；所述杆状电极在通电状况下产生非均匀电场；
磁极，包括一S极和一N极，所述S极和所述N极分设在所述杆状电极的相对两端部；所述磁极用于产生平行于所述杆状电极的磁场；
其中，当所述容纳槽中盛装有所述挥发性电解质溶液时所述杆状电极浸入所述挥发性电解质溶液中，对所述杆状电极通电，以使所述挥发性电解质溶液中的挥发性电解质解离后的离子限域或束缚在所述容纳槽中。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，当所述杆状电极为正极时，所述杆状电极在通电状况下产生由所述杆状电极指向外部的散射状非均匀电场；
当所述杆状电极为负极时，所述杆状电极在通电状况下产生由外部指向所述杆状电极的汇聚状非均匀电场。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，对所述杆状电极通电后，所述挥发性电解质解离后的离子受到的合力为零、或受到的合力与运动方向垂直。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，对所述杆状电极通电后，所述挥发性电解质解离后的离子静止、或作相对于所述杆状电极的匀速圆周运动。
5.根据权利要求1-4任一所述的装置，其特征在于，所述容纳槽为湿法刻蚀工艺中的储液箱或刻蚀槽。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述挥发性电解质溶液为草酸溶液。
7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述挥发性电解质溶液为含有NH4F的SiO2蚀刻液。
8.一种基于权利要求1-7任一所述的装置的抑制挥发性电解质溶液结晶的方法，其特征在于，包括步骤：
S1、将所述挥发性电解质溶液置于容纳槽中并使所述杆状电极浸入所述挥发性电解质溶液中；
S2、对所述杆状电极通电，所述杆状电极产生非均匀电场，且所述磁极产生平行于所述杆状电极的磁场；
S3、调整所述非均匀电场的大小和/或所述磁场的大小，使所述挥发性电解质解离后的离子限域或束缚在所述容纳槽中。
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