[发明专利]三维测量装置

说明书

提供一种能够在短时间内容易地对测量对象的期望部分的三维形状进行测量的三维测量装置。接收到用户对高度测量点和尺寸测量部分的指派。通过成像部分(220)获取测量对象(S)的图像。从发光部分(231)发射的光通过偏转部分(270)偏转，并且辐射至测量对象(S)上。偏转部分(270)被控制为将光辐射至测量对象(S)的对应于高度测量点的部分上。通过光接收部分接收来自测量对象(S)的光，并且输出指示接收到的光量的光接收信号。基于从光接收部分输出的光接收信号来计算测量对象(S)的与指派的高度测量点相对应的部分的高度。基于通过成像部分(220)获取的图像来计算测量对象(S)的与指派的尺寸测量部分相对应的部分的尺寸。

技术领域

本发明涉及一种对测量对象的表面形状进行测量的三维测量装置。

背景技术

使用三维测量装置，以对测量对象的表面形状进行测量。例如，在JP-A-2014-85269中描述的尺寸测量装置中，从低相干性光源辐射的光通过分束器分为测量光和参考光。通过测量对象扫描光学系统将测量光辐射至测量对象的表面上。在参考光扫描光学系统中的光学路径长度改变的同时，参考光由参考光扫描光学系统导向并且由角锥棱镜反射。基于通过测量对象反射的测量光与通过角锥棱镜反射的参考光的干涉来计算测量对象的测量点的表面位置。

发明内容

在上面说明的尺寸测量装置中，每当测量光通过测量对象扫描光学系统在一个方向上偏转时，测量对象就在与偏转方向正交的方向上按照预定移动量被送出。结果，对测量对象的表面的尺寸进行了测量。

然而，在上面说明的方法中，即使期望测量的是测量对象的期望部分的高度、宽度和长度，也必须测量出测量对象的整个表面的尺寸。因此，根据测量对象的形状和大小，尺寸的测量很花时间。测量操作员需要提取关于测量对象的所有测量点中的期望的测量点的信息。这种提取工作很复杂。

本发明的目的是提供一种能够在短时间内容易地对测量对象的期望部分的三维形状进行测量的三维测量装置。

(1)根据本发明的三维测量装置是一种测量布置在测量区域中的测量对象的尺寸的三维测量装置，三维测量装置包括：高度测量信息获取部分，其被构造为接收高度测量点的指派；尺寸测量信息获取部分，其被构造为接收用于测量在与高度方向正交的方向上的尺寸的尺寸测量部分的指派；成像部分，其被构造为获取布置在测量区域中的测量对象的图像；发光部分，其被构造为发射第一光；偏转部分，其被构造为使从发光部分发射的第一光偏转，并且将第一光辐射至测量对象上；光接收部分，其被构造为从测量对象接收第一光并且输出指示接收到的光量的光接收信号；驱动控制部分，其被构造为控制偏转部分以将第一光辐射至测量对象的与由高度测量信息获取部分接收到的高度测量点相对应的部分上；高度计算部分，其被构造为基于通过光接收部分输出的光接收信号来计算测量对象的对应于高度测量点的部分的高度；以及尺寸计算部分，其被构造为基于通过成像部分获取的测量对象的图像来计算测量对象的与由尺寸测量信息获取部分接收到的尺寸测量部分相对应的部分的尺寸。

在三维测量装置中，通过高度测量信息获取部分接收高度测量点的指派，并且通过尺寸测量信息获取部分接收尺寸测量部分的指派。通过成像部分获取布置在测量区域中的测量对象的图像。

从发光部分发射的第一光通过偏转部分偏转并且被辐射至测量对象上。偏转部分被驱动控制部分控制以将光辐射至测量对象的对应于高度测量点的部分上。来自测量对象的第一光被光接收部分接收，并且输出指示接收到的光量的光接收信号。由高度计算部分基于光接收部分输出的光接收信号来计算测量对象的对应于高度测量点的部分的高度。由尺寸计算部分基于通过成像部分获取的测量对象的图像来计算测量对象的与由尺寸测量信息获取部分接收到的尺寸测量部分相对应的部分的尺寸。