[发明专利]一种椭圆偏振测厚仪

说明书

本发明提供一种椭圆偏振测厚仪，包括实验底座，所述实验底座上设有转轴，所述转轴的上端连接工作台，所述工作台上依次设有激光器、起偏器、样品台、检偏器、光电探测器，所述激光器的前端设有准直镜，所述起偏器的前端设有分束器，所述检偏器的下方设有光电倍增管，所述实验底座上设有开关和USB外接口。本发明的有益效果是光电倍增管有效增强微弱光信号转化成电信号，使得光电探测器可以准确的读取信号数据，避免数据读取的误差，另外，准直镜校准光束的准直性，增强入射光束准确度；并且通过A/D转化模块可以快速的得出测得的模拟信号转化为数字信号传输进行数据处理，得到准确的测量结果。

技术领域

本发明属于光学测量设备技术领域，尤其是涉及一种椭圆偏振测厚仪。

背景技术

椭圆偏振测厚仪利用光的偏振特性，即，一束椭圆偏振的光在镀膜的上下表面两次反射，它的偏振状态会转过一定的角度，此转过角度的具体与镀膜和衬底的折射率，以及镀膜厚度相关，由此特性可在已知衬底折射率的情况下得出所测量镀膜的厚度即折射率。消光法椭圆偏振方式对应不同样品制造出一束特定的椭圆偏振光使光束在样品上反射后形成线偏振光，检测此椭圆偏振光的长轴角度以及形成的线偏振光的偏振方向，根据这两个角度及已知的衬底的折射率即可得出测量镀膜的厚度及折射率。

目前，市面上出现的椭圆偏振测厚仪，装置复杂不方便携带，并且在进行测量时会浪费大量的时间，测量的结果可靠性低，产生的实验误差较大。因此，亟需设计一种能够解决上述技术问题的椭圆偏振测厚仪。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构简单、操作简单、实验时间短、实验测量误差小、的椭圆偏振测厚仪。

本发明的技术方案是：一种椭圆偏振测厚仪，包括实验底座，所述实验底座上设有转轴，所述转轴的上端连接工作台，所述工作台上依次设有激光器、起偏器、样品台、检偏器、光电探测器，所述激光器的前端设有准直镜，所述起偏器的前端设有分束器，所述检偏器的下方设有光电倍增管，所述实验底座上设有开关和USB外接口。

进一步，述激光器发出的光源设置在准直镜的焦点处。

进一步，所述光电探测器内设有A/D转化模块。

进一步，所述激光器采用带布儒斯特窗的氦氖激光器。

进一步，所述光电倍增管、光电探测器通过电线与实验底座的USB外接口连接。

进一步，所述实验底座的底部设有支撑腿。

本发明具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，光电倍增管有效增强微弱光信号转化成电信号，使得光电探测器可以准确的读取信号数据，避免数据读取的误差，另外，准直镜校准光束的准直性，增强入射光束准确度；并且通过A/D转化模块可以快速的得出测得的模拟信号转化为数字信号传输进行数据处理，得到准确的测量结果。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图中：

1、实验底座 2、转轴 3、工作台

4、激光器 5、起偏器 6、样品台

7、检偏器 8、光电探测器 9、准直镜

10、分束器 11、光电倍增管 12、开关

13、USB外接口 14、支撑腿

具体实施方式

下面结合附图对本发明做详细说明。