[发明专利]一种椭圆偏振测厚仪在审
| 申请号： | 201711430850.5 | 申请日： | 2017-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108007367A | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 王传龙 | 申请（专利权）人： | 天津良益科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 天津市新天方有限责任专利代理事务所 12104 | 代理人： | 李桂英 |
| 地址： | 300350 天津市津南区滨海民*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 椭圆 偏振 测厚仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种椭圆偏振测厚仪，其特征在于：包括实验底座(1)，所述实验底座(1)上设有转轴(2)，所述转轴(2)的上端连接工作台(3)，所述工作台(3)上依次设有激光器(4)、起偏器(5)、样品台(6)、检偏器(7)、光电探测器(8)，所述激光器(4)的前端设有准直镜(9)，所述起偏器(5)的前端设有分束器(10)，所述检偏器(7)的下方设有光电倍增管(11)，所述实验底座(1)上设有开关(12)和USB外接口(13)。
2.根据权利要求1所述的椭圆偏振测厚仪，其特征在于：所述激光器(4)发出的光源设置在准直镜(9)的焦点处。
3.根据权利要求1所述的椭圆偏振测厚仪，其特征在于：所述光电探测器(8)内设有A/D转化模块。
4.根据权利要求1所述的椭圆偏振测厚仪，其特征在于：所述激光器(4)采用带布儒斯特窗的氦氖激光器。
5.根据权利要求1所述的椭圆偏振测厚仪，其特征在于：所述光电倍增管(11)、光电探测器(8)通过电线与实验底座(1)的USB外接口(13)连接。
6.根据权利要求1所述的椭圆偏振测厚仪，其特征在于：所述实验底座(1)的底部设有支撑腿(14)。
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