[发明专利]用于气相沉积的喷头

权利要求书

1.一种用于气相沉积的喷头，其特征在于：

所述喷头包括多个孔；

位于所述喷头的边缘区域的孔向所述喷头的外部倾斜；

当从所述喷头的顶部向底部看去时，向所述喷头的外部倾斜的孔进一步相对于所述喷头沿水平方向的横截面的径向偏转；并且

向所述喷头的外部倾斜的孔位于所述喷头的边缘区域内的两圈或更多圈圆周上，并且位于所述喷头的边缘区域内的两圈或更多圈圆周上的向所述喷头的外部倾斜的孔相对于所述喷头沿水平方向的横截面的径向偏转的角度从内圈向外圈逐渐增大，从而形成向外的漩涡状气流。

2.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：

向所述喷头的外部倾斜的孔相对于所述喷头的垂直方向的倾斜角度小于或等于45度。

3.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：

位于所述喷头的边缘区域内的两圈或更多圈圆周上的向所述喷头的外部倾斜的孔相对于所述喷头的垂直方向的倾斜角度相同或从内圈向外圈逐渐增大。

4.根据权利要求3所述的喷头，其特征在于：

位于所述喷头的边缘区域内的两圈或更多圈圆周上的向所述喷头的外部倾斜的孔相对于所述喷头的垂直方向的倾斜角度α_n以相同或不同的角度差σ_n从内圈向外圈逐渐增大，其中

σ_n＝α_n+1-α_n

其中，n为大于或等于1的整数。

5.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：

所述喷头的中间区域的孔形成垂直气流，而所述喷头的边缘区域的孔形成向外的气流。

6.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：

向所述喷头的外部倾斜的孔沿顺时针或逆时针方向相对于所述喷头沿水平方向的横截面的径向偏转。

7.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：

向所述喷头的外部倾斜的孔相对于所述喷头沿水平方向的横截面的径向偏转的角度小于或等于45度。

8.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：

位于所述喷头的边缘区域内的两圈或更多圈圆周上的向所述喷头的外部倾斜的孔相对于所述喷头沿水平方向的横截面的径向偏转的角度β_n以相同或不同的角度差σ’_n从内圈向外圈逐渐增大，其中

σ’_n＝β_n+1-β_n

其中，n为大于或等于1的整数。

9.一种气相沉积设备，其特征在于，包括根据权利要求1-8中任意一项所述的喷头。

10.根据权利要求9所述的气相沉积设备，其特征在于，所述气相沉积设备还包括：

加热器，所述加热器位于所述喷头的正下方；以及

支撑轴，所述支撑轴支撑所述加热器。