[发明专利]一种光刻胶软烘装置

权利要求书

1.一种光刻胶软烘装置，其特征在于，包括：

腔室，用于容置表面涂布有光刻胶的基板；

热板，设置于所述腔室内，用于加热所述基板；

热风刀，设置于所述腔室一端，用于使所述腔室产生预设方向的气流；以及

排气口，对应所述热风刀设置于所述腔室的另一端，用于排出所述光刻胶经高温烘烤后蒸发形成的光阻颗粒；

其中，所述排气口对应设置有排气管道，在所述排气管道内设置有变压真空吸附装置，用以调节排气压力来吸附所述光阻颗粒；远离所述排气口的一端设置有排气阀门，用以控制所述软烘装置进行排气；

其中，所述变压真空吸附装置包括:

真空腔室，所述真空腔室一端设置有入气口，相对另一端设置有出气口，所述入气口与所述出气口分别与所述排气管道密封连接；

吸附模块，呈条状间隔分布于所述真空腔室内且用于吸附光阻颗粒；及

第一支管与第二支管，分别设置于所述真空腔室的左侧壁以及右侧壁，且所述第一支管以及所述第二支管均设有气压调节阀，用以从所述真空腔室两端调节气压。

2.根据权利要求1所述的软烘装置，其特征在于，所述排气阀门为交流磁感阀。

3.根据权利要求2所述的软烘装置，其特征在于，所述软烘装置还包括控制端，所述交流磁感阀与所述控制端电性连接。

4.根据权利要求1所述的软烘装置，其特征在于，所述热板设置于所述腔室底部，用于承载所述基板；所述热风刀用于形成流经所述基板表面并流向所述排气口的气流。

5.根据权利要求4所述的软烘装置，其特征在于，所述腔室至少设置有两所述排气口，至少两所述排气口平行于所述基板表面间隔设置，一所述排气口对应设置有一所述排气管道，一所述排气管道对应设置一变压真空吸附装置以及一所述排气阀门。

6.根据权利要求5所述的软烘装置，其特征在于，不同所述排气管道内的所述排气阀门独立控制，通过局部开启所述排气阀门用以形成不同流向的所述气流。

7.根据权利要求5所述的软烘装置，其特征在于，至少两所述排气管道连接于一抽气装置上，用以增强排气速率。