[发明专利]一种抛光液供给装置及系统

权利要求书

1.一种抛光液供给装置，其特征在于，包括：抛光液供给模块和抛光液供给管路；

所述抛光液供给模块包括：供液管路、回流管路和并联管路；

所述供液管路的进液口与抛光液供给源连接；

所述供液管路的出液口分别与所述回流管路的回流口和并联管路的进口连通；

所述并联管路的出口与所述抛光液供给管路入口连通；

所述回流管路用于流经所述供液管路的部分或者全部抛光液不参与抛光作业直接回流排出；

所述回流管路上设置有节流阀或者流量调节阀，用于通过调控回流管路内的回流量来调节所述并联管路内的液压，进而防止抛光液供给不足或者供给压力过大；

所述供液管路上设置有供液控制阀；和/或，所述并联管路上设置第一控制阀；

所述抛光液供给装置还包括清洗供给模块，所述清洗供给模块包括清洗液供应管路，清洗液供应管路的进液口与清洗液供应源连接；清洗液供应管路的出液口通过管路与所述抛光液供给管路的入口连接，用于向所述抛光液供给管路内输入清洗液进而对所述抛光液供给管路进行清洗；所述清洗液供应管路上设置有第二控制阀；

所述第二控制阀和所述第一控制阀为气动控制阀或者液动控制阀；

所述抛光液供给装置还包括：用于控制所述第一控制阀的第一控制支路，和用于控制所述第二控制阀的第二控制支路；

所述第一控制支路和所述第二控制支路的一端分别与控制气源或控制液源连通，所述第一控制支路和所述第二控制支路的另一端分别连接所述第一控制阀和第二控制阀的控制接口；

所述第一控制支路和所述第二控制支路上分别设置有第一电磁阀和第二电磁阀；

所述供液管路上所述供液控制阀出口一侧设置有用于监控液压的压力仪器；或者，所述并联管路上所述第一控制阀的进口一侧设置有用于监控液压的压力仪器；所述清洗液供应管路上设置单向阀；

所述第二控制支路上设置有用于控制所述第二控制支路通断进而控制所述第二控制阀通断的第三控制阀，第三控制阀为气动阀或者液动阀；第三控制阀为常通阀，第一控制阀为常断阀，所述第三控制阀的控制接口与所述第一控制支路连通。

2.根据权利要求1所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述第二控制阀的数量为若干个；所述第二控制阀为气动控制阀或者液动控制阀，若干个第二控制阀的控制接口与同一控制气源或者控制液源连接。

3.根据权利要求2所述的抛光液供给装置，其特征在于，所述清洗液供应管路上所述第二控制阀的进口一侧设置有减压阀；减压阀为气动阀或者液动阀；

所述抛光液供给装置还包括用于控制所述减压阀的第四控制支路；第四控制支路上设置有用于调节第四控制支路压力的手动调压阀。

4.一种采用权利要求1-3任一项所述抛光液供给装置的抛光液供给系统，其特征在于，其包括若干个并联设置的所述抛光液供给装置，若干个所述抛光液供给装置的所述抛光液供给管路分别通向不同的抛光台，进而向不同抛光台输送抛光液。