[发明专利]将电子芯片与连接器主体互连并使连接器主体成形的通用过程有效
申请号: | 201711400878.4 | 申请日: | 2017-12-22 |
公开(公告)号: | CN108231613B | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | S·卡德韦尔 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603;H01L21/67 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 邬少俊;王英 |
地址: | 德国瑙伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 芯片 连接器 主体 互连 成形 通用 过程 | ||
1.一种包括施加通用压制力的方法,所述通用压制力操作用于:
通过互连结构(104)将电子芯片(100)与连接器主体(102)互连;以及
有助于所述连接器主体(102)的成形,
其中在所述成形之前,所述连接器主体(102)是平面结构(110),
其中在所述成形之后,所述连接器主体(102)被转换成三维弯曲结构,
其中在所述连接器主体(102)的成形步骤完成之前,保持用于所述将所述电子芯片(100)与连接器主体(102)互连的压制力。
2.根据权利要求1所述的方法,其中所述互连结构(104)包括由烧结材料以及焊接材料组成的组中的至少之一。
3.根据权利要求2所述的方法,其中所述烧结材料为银烧结材料,并且所述焊接材料扩散焊料材料。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中所述连接器主体(102)包括芯片载体或由其组成。
5.根据权利要求4所述的方法,其中所述芯片载体为引线框架。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中所述连接器主体(102)包括夹具(120)或由其组成。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中在所述成形之前,所述连接器主体(102)是平面金属片。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中所述方法包括:通过向所有电子芯片(100)和所述连接器主体(102)的所有安装部分(112) 同时施加压力由不同的互连结构(104)将多个电子芯片(100)安装在所述连接器主体(102)的不同安装部分(112)上。
9.根据权利要求8所述的方法,其中所述方法包括:在所述成形和所述安装之后,将所述连接器主体(102)单一化为多个部分(114),所述连接器主体(102)具有通过所述互连结构(104)安装在其上的所述电子芯片(100),每个部分(114)包括所述连接器主体(102)的一部分、所述电子芯片(100)中的至少一个和所述互连结构(104)中的至少一个。
10.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中所述方法包括:通过向所有电子芯片(100)和所有连接器主体(102)同时施加压力由不同的互连结构(104)将多个电子芯片(100)安装在多个分开的连接器主体(102)中的不同的连接器主体上。
11.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中所述方法包括:在所述成形期间,将所述电子芯片(100)、所述互连结构(104)和所述连接器主体(102)加热到环境温度以上的高温。
12.根据权利要求11所述的方法,其中在所述成形期间,将所述电子芯片(100)、所述互连结构(104)和所述连接器主体(102)加热到互连温度,在所述互连温度下所述互连结构(104)将所述电子芯片(100)与所述连接器主体(102)互连。
13.根据权利要求11所述的方法,其中在所述成形期间,将所述电子芯片(100)、所述互连结构(104)和所述连接器主体(102)加热到至少200℃的温度。
14.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中所述方法包括:在所述成形期间,将所述电子芯片(100)、所述互连结构(104)和所述连接器主体(102)至少加热到互连温度,在所述互连温度下所述互连结构(104)将所述电子芯片(100)与所述连接器主体(102)互连,并且所述方法被配置为随后将所述电子芯片(100)、所述互连结构(104)和所述连接器主体(102)进一步加热到进一步的高温以进行成形。
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