[发明专利]一种双工位USC清洗机

说明书

本发明涉及一种双工位USC清洗机，包括清洗头部分、台板部分、双工位升降支架部分和内组装机架部分，清洗头部分、台板部分、双工位升降支架部分均装配于内组装机架部分上；台板部分位置固定于清洗头部分中的清洗头的下方，并处于双工位升降支架的上方，其中所述清洗头部分中的清洗头可以沿台板部分的表面方向平行移动以对玻璃进行清洗，台板部分中的台板主体开有升降PIN孔，双工位升降支架中的升降PIN通过升降PIN孔沿竖直方向往复运动。本发明结构简单、设计合理，能够实现半板升降架部分的分别升降与同时升降，能够完成两块玻璃的放置、定位和整形，通过破片传感器可以检测玻璃是否有破损，是否放置的两块玻璃有重叠的部分，以保证生产效率与生产安全。

【技术领域】

本发明属于微电子技术领域半导体及平板显示行业，具体公开了一种双工位USC清洗机。

【背景技术】

在液晶显示屏生产过程中，为了提高产品的良率，需要对玻璃基板进行清洗，USC超声波清洗机就是专门对玻璃基板进行清洗的设备。待清洗的玻璃尺寸是决定清洗机尺寸大小的关键，根据要清洗玻璃的尺寸可以设计台板的大小并安排整形PIN、挡玻璃块以及各种传感器的位置，局限于此，一台清洗机往往都只能清洗一种尺寸的整块玻璃。随着液晶显示行业的发展，待清洗的玻璃一分为二，干式清洗工艺需要同时清洗两块玻璃，由于普通的USC清洗机无法准确放置玻璃并将玻璃整形定位，普通的清洗机便无法胜任这样的工作，双工位USC清洗机可以解决这一难点。

【发明内容】

本发明涉及一种双工位USC清洗机，将清洗的玻璃一分为二，一次放置两块玻璃在台板上，实现对两块玻璃同时进行整形定位，需要双工位同时升降，一次需要清洗两块玻璃。

本发明采用的技术方案是：本发明涉及一种双工位USC清洗机，包括清洗头部分、台板部分、双工位升降支架部分和内组装机架部分，清洗头部分、台板部分、双工位升降支架部分均装配于内组装机架部分上；台板部分位置固定于清洗头部分中的清洗头的下方，并处于双工位升降支架的上方，其中所述清洗头部分中的清洗头可以沿台板部分的表面方向平行移动以对玻璃进行清洗，台板部分中的台板主体开有升降PIN孔，双工位升降支架中的升降PIN通过升降PIN孔沿竖直方向往复运动。

在本发明中：所述的清洗头部分包括清洗头、清洗头支架、型材架、弯管、弯管固定架、清洗头用电机和减速机，所述的清洗头通过清洗头支架以及型材架连接于内组装机架的导轨上，清洗头行走的动力由电机提供，动力传动通过减速机与滚轮齿条机构进行，从而驱动清洗头沿导轨方向移动；所述的弯管连接气源，为清洗头的清洗功能提供气压，弯管固定架用来固定弯管；其中清洗头位于台板部分的上方，起到连接与固定作用的清洗头支架与型材架处于内组装部分的两侧。

在本发明中：所述台板部分是与玻璃直接接触的部分，用于承载并吸附玻璃，台板部分的台板主体上有吸附槽、阴刻槽和玻璃挡块槽，所述的吸附槽用于提供吸附玻璃的吸力；所述的阴刻槽，减少了玻璃与台板的接触面积；所述的玻璃挡块槽，用于安放玻璃挡块，从而给玻璃限位；其中所述的台板主体上设有若干通孔，所述的通孔数量与所述双工位升降支架部分上的各类传感器的数量相同。