[发明专利]一种PERC太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种PERC太阳能电池，其特征在于：

其包括硅片，

所述硅片的正面沉积/生长有正面减反层，所述硅片的背面沉积/生长有AlO_x层和背面钝化层；

所述正面减反层为SiN_x/SiN_y/SiO_xN_y/SiO_x结构；

所述背面钝化层为SiN_x/SiN_y结构；

所述的PERC太阳能电池由以下步骤制得：

a）硅片制绒、清洗并烘干，绒面尺寸控制在5μm以内；

b）将制绒后的衬底进行高温磷扩散处理；

c）湿法刻蚀除去磷硅玻璃和背面PN结；

d）通过原子层沉积法双面沉积Al₂O₃薄膜；

e）高温退火，退火温度350～550℃，退火时间5～30min；

f）背面沉积背面钝化层；

g）氢氟酸清洗，氢氟酸浓度控制在0.01～10wt%之间，清洗时间20～300s；

h）采用PECVD工艺沉积正面减反层；

i）丝网印刷及高温烧结。

2.根据权利要求1所述的一种PERC太阳能电池，其特征在于：

所述的硅片为P型硅片。

3.根据权利要求1所述的一种PERC太阳能电池，其特征在于：

所述的背面钝化层为以SiN_x/SiN_y结构为单元的单层或周期性叠层结构。

4.根据权利要求1所述的一种PERC太阳能电池，其特征在于：

所述的正面减反层为以SiN_x/SiN_y/SiO_xN_y/SiO_x结构为单元的单层或周期叠层结构。

5.一种根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

a）硅片制绒、清洗并烘干，绒面尺寸控制在5μm以内；

b）将制绒后的衬底进行高温磷扩散处理；

c）湿法刻蚀除去磷硅玻璃和背面PN结；

d）通过原子层沉积法双面沉积Al₂O₃薄膜；

e）高温退火，退火温度350～550℃，退火时间5～30min；

f）背面沉积背面钝化层；

g）氢氟酸清洗，氢氟酸浓度控制在0.01～10wt%之间，清洗时间20～300s；

h）采用PECVD工艺沉积正面减反层；

i）丝网印刷及高温烧结。

6.根据权利要求5所述的一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：

还包括步骤X）激光开窗制备背面接触图案，所述的步骤X）在步骤f或步骤h完成后进行。

7.根据权利要求5所述的一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：

所述步骤b）中，高温磷扩散处理后，扩散方阻在60～120Ω/□之间，表面浓度为10¹⁹～10²²atom/cm³，结深控制在200～800nm。

8.根据权利要求5所述的一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：

所述步骤d）中，沉积的Al₂O₃薄膜的折射率为1.6～1.65，膜厚为3～20nm。

9.根据权利要求5所述的一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：

所述步骤f）中，背面钝化层的结构为以SiN_x/SiN_y结构为单元的周期叠层结构，叠层周期不小于1。

10.根据权利要求9所述的一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于：

所述SiN_x的折射率和膜厚分别为2.0～2.3和5～30nm，所述SiN_y的折射率和膜厚分别为1.9～2.1和20～50nm，所述背面钝化层的厚度为80～200nm。