[发明专利]一种石墨框装片装置在审

专利信息
申请号: 201711388001.8 申请日: 2017-12-20
公开(公告)号: CN109950186A 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 张宇;张锦熙 申请(专利权)人: 湖南红太阳光电科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 周长清;徐好
地址: 410205 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 同步带 上料 定位组件 石墨框 平移组件 升降组件 硅片 下料 传送方向 校正组件 装片装置 装片 吸盘 定位准确 均匀安装 平行布置 装片效率 校正 横跨
【权利要求书】:

1.一种石墨框装片装置,其特征在于:包括石墨框定位组件(1)、上料同步带(2)、下料同步带(3)、用于校正硅片(4)与上料同步带(2)的相对位置的校正组件(5)、用于定位上料同步带(2)上成列硅片(4)的定位组件(6)、平移组件(7)以及升降组件(8),所述上料同步带(2)和所述下料同步带(3)平行布置于所述石墨框定位组件(1)两侧,所述校正组件(5)和所述定位组件(6)沿所述上料同步带(2)的传送方向布置,所述平移组件(7)横跨于所述石墨框定位组件(1)、上料同步带(2)以及下料同步带(3)上方,所述升降组件(8)安装于所述平移组件(7)上,升降组件(8)上沿所述上料同步带(2)的传送方向均匀安装有多个用于装片的吸盘(81)。

2.根据权利要求1所述的石墨框装片装置,其特征在于:所述校正组件(5)包括两个导向排(51)、用于驱动两个导向排(51)相向运动的校正驱动件(52)、以及校正顶升件(53),两个所述导向排(51)对称布置于所述上料同步带(2)两侧,所述校正顶升件(53)位于所述上料同步带(2)下方。

3.根据权利要求1或2所述的石墨框装片装置,其特征在于:所述定位组件(6)包括定位顶升件(61)、定位安装座(62)、两个定位杆(63)、以及用于驱动两个定位杆(63)相向运动的定位驱动件(64),所述定位安装座(62)设于所述定位顶升件(61)上,所述定位驱动件(64)安装于所述定位安装座(62)上并与所述定位杆(63)相连,两个所述定位杆(63)对称布置于所述上料同步带(2)两侧,所述定位杆(63)上沿上料同步带(2)的传送方向均匀安装有多个定位块(67),所述定位块(67)上设有与硅片(4)直角处配合的定位槽(671)。

4.根据权利要求3所述的石墨框装片装置,其特征在于:所述定位槽(671)的侧壁均为斜面。

5.根据权利要求3所述的石墨框装片装置,其特征在于:所述定位安装座(62)上还设有一对定位滑轨(65),所述定位驱动件(64)位于一对所述定位滑轨(65)之间,所述定位杆(63)通过定位滑块(66)滑设于所述定位滑轨(65)上。

6.根据权利要求1所述的石墨框装片装置,其特征在于:所述平移组件(7)包括横跨于所述石墨框定位组件(1)上的平移驱动带(71)以及与平移驱动带(71)固定连接的升降组件安装座(72),所述升降组件(8)安装于所述升降组件安装座(72)上。

7.根据权利要求6所述的石墨框装片装置,其特征在于:所述升降组件(8)包括与所述升降组件安装座(72)相连的升降连接板(86)、安装于所述升降连接板(86)上的升降驱动件(82)、以及与升降驱动件(82)相连的升降支架(83),所述吸盘(81)安装于所述升降支架(83)上。

8.根据权利要求1所述的石墨框装片装置,其特征在于:所述石墨框定位组件(1)包括两组旋转夹紧气缸(11),两组所述旋转夹紧气缸(11)相对布置于石墨框(9)的两侧。

9.根据权利要求1所述的石墨框装片装置,其特征在于:所述平移组件(7)平行设置有两组,所述升降组件(8)包括装片升降组件(84)和卸片升降组件(85),所述装片升降组件(84)安装于其中一组所述平移组件(7)上并在所述石墨框定位组件(1)与所述上料同步带(2)之间平移,所述卸片升降组件(85)安装于另一组所述平移组件(7)上并在所述石墨框定位组件(1)与所述下料同步带(3)之间平移。

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