[发明专利]基板处理装置和基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理装置，具有：

处理容器；

基板保持器具，其保持多个基板，被装载于所述处理容器和从所述处理容器卸载；以及

吸气管道，其具备吸气口，该吸气管道与处于从所述处理容器卸载后的卸载位置处的所述基板保持器具的周围相向地配置，

其中，所述吸气管道具有：

固定管道部，其构成所述吸气管道的主体；以及

可动管道部，其容纳于所述固定管道部，构成所述吸气口；

所述基板处理装置还具有控制部，该控制部以使所述吸气口在所述卸载位置处靠近所述基板保持器具的方式驱动所述可动管道部。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

在所述可动管道部设置有凸缘。

3.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

在所述可动管道部具有至少一个分隔壁，该至少一个分隔壁用于将所述可动管道部的内部在高度方向上分隔为多个空间。

4.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述吸气管道由配置在上端、下端以及中间的三个吸气管道构成。

5.根据权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，

所述吸气管道由多个吸气管道构成，所述多个吸气管道中的至少一个吸气管道配置在与其它吸气管道不同的水平位置处。

6.一种基板处理方法，具有以下工序：

从处理容器卸载保持着多个基板的基板保持器具；

以使吸气口在卸载位置处靠近所述基板保持器具的方式驱动具备所述吸气口的至少一个吸气管道，该至少一个吸气管道与处于从所述处理容器卸载后的所述卸载位置处的所述基板保持器具的周围相向地配置；以及

使所述吸气管道工作；

其中，所述吸气管道具有：

固定管道部，其构成所述吸气管道的主体；以及

可动管道部，其容纳于所述固定管道部，构成所述吸气口，

其中，以使所述吸气口在所述卸载位置处靠近所述基板保持器具的方式驱动所述可动管道部。

7.根据权利要求6所述的基板处理方法，其特征在于，

使所述可动管道部靠近所述基板保持器具的定时是所述基板保持器具到达所述卸载位置的定时。