[发明专利]一种硅片纠正机构

说明书

技术领域

本发明涉及硅片制造机械领域，尤其涉及一种硅片纠正机构。

背景技术

现有的硅片纠正机构为整体式设计，因零件的材质采用陶瓷，容易破损，一旦出现破损现象，需要整体更换零件，成本太高。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的以上问题，提供一种硅片纠正机构，该设计能够解决在使用过程中零件出现部分破损而整体报废的问题。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

一种硅片纠正机构，包括从左往右依次排列的一块第一纠正板、多块第二纠正板、一块第三纠正板，所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板上均开设有由纠正板安装轴串联的安装孔，所述纠正板安装轴的两头分别螺接有紧固螺母，所述第二纠正板和所述第三纠正板的左端均设有向左侧突出的长方形凸起部，所述第一纠正板同与其相邻的第二纠正板之间、相邻的两个所述第二纠正板之间、所述第三纠正板同与其相邻的第二纠正板之间形成形状大小相同的纠正槽。

其中，所述第一纠正板的顶部右侧、所述第二纠正板的顶部左右两侧、所述第三纠正板的顶部左侧均设有倒角。

其中，所述纠正槽为长方形。

其中，所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板上各自开设有两个位于同一水平高度的安装孔，且所述安装孔的横截面为圆形，所述纠正板安装轴为两端具有外螺纹的圆杆，所述圆杆的两端分别螺接一个紧固螺母。

其中，所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的中部各自开设有一个安装孔，所述安装孔的横截面为正六边形，所述安装孔中安装有六角螺母，所述纠正板安装轴为螺杆，所述六角螺母均螺接在所述螺杆上，所述螺杆的两端分别螺接一紧固螺母。

其中，所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的中部各自开设有一个安装孔，所述安装孔的横截面为正六边形，所述纠正板安装轴为两端分别设有一端螺杆的六棱柱，所述六棱柱贯穿在依次排列的第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的安装孔中。

其中，所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的纵截面为大小相同的长方形。

其中，所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板均为陶瓷板。

本发明的有益效果是：该硅片纠正机构中的部分零件出现破损时，只需要对出现破损的零件进行更换，而其他完好的组成结构任可继续使用，从而能够解决在使用过程中零件出现部分破损而整体报废的问题。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1是本发明实施例一的整体结构示意图；

图2是本发明实施例一中第一纠正板的结构示意图；

图3是本发明实施例一中第二纠正板的结构示意图；

图4是本发明实施例一中第三纠正板的结构示意图；

图5是本发明实施例一中纠正板安装轴的结构示意图；

图6是本发明实施例二的整体结构示意图；

图7是本发明实施例二中第一纠正板的结构示意图；

图8是本发明实施例二中第二纠正板的结构示意图；

图9是本发明实施例二中第三纠正板的结构示意图；

图10是本发明实施例二中纠正板安装轴的结构示意图；

图11是本发明实施例三的整体结构示意图；

图12是本发明实施例三中第一纠正板的结构示意图；

图13是本发明实施例三中第二纠正板的结构示意图；

图14是本发明实施例三中第三纠正板的结构示意图；

图15是本发明实施例三中纠正板安装轴的结构示意图。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。

如图1至5所示的实施例一，一种硅片纠正机构，包括从左往右依次排列的一块第一纠正板1、二十块第二纠正板2、一块第三纠正板3，第一纠正板1、第二纠正板2、第三纠正板3上均开设有由纠正板安装轴串联的安装孔8，纠正板安装轴的两头分别螺接有紧固螺母5，第二纠正板2和第三纠正板3的左端均设有向左侧突出的长方形凸起部9，第一纠正板1同与其相邻的第二纠正板2之间、相邻的两个第二纠正板2之间、第三纠正板3同与其相邻的第二纠正板2之间形成形状大小相同的纠正槽4。

第一纠正板1的顶部右侧、第二纠正板2的顶部左右两侧、第三纠正板3的顶部左侧均设有倒角6。

纠正槽4为长方形。