[发明专利]一种硅片纠正机构

权利要求书

1.一种硅片纠正机构，其特征在于：包括从左往右依次排列的一块第一纠正板、多块第二纠正板、一块第三纠正板，所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板上均开设有由纠正板安装轴串联的安装孔，所述纠正板安装轴的两头分别螺接有紧固螺母，所述第二纠正板和所述第三纠正板的左端均设有向左侧突出的长方形凸起部，所述第一纠正板同与其相邻的第二纠正板之间、相邻的两个所述第二纠正板之间、所述第三纠正板同与其相邻的第二纠正板之间形成形状大小相同的纠正槽。

2.根据权利要求1所述的硅片纠正机构，其特征在于：所述第一纠正板的顶部右侧、所述第二纠正板的顶部左右两侧、所述第三纠正板的顶部左侧均设有倒角。

3.根据权利要求1所述的硅片纠正机构，其特征在于：所述纠正槽为长方形。

4.根据权利要求1所述的硅片纠正机构，其特征在于：所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板上各自开设有两个位于同一水平高度的安装孔，且所述安装孔的横截面为圆形，所述纠正板安装轴为两端具有外螺纹的圆杆，所述圆杆的两端分别螺接一个紧固螺母。

5.根据权利要求1所述的硅片纠正机构，其特征在于：所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的中部各自开设有一个安装孔，所述安装孔的横截面为正六边形，所述安装孔中安装有六角螺母，所述纠正板安装轴为螺杆，所述六角螺母均螺接在所述螺杆上，所述螺杆的两端分别螺接一紧固螺母。

6.根据权利要求1所述的硅片纠正机构，其特征在于：所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的中部各自开设有一个安装孔，所述安装孔的横截面为正六边形，所述纠正板安装轴为两端分别设有一端螺杆的六棱柱，所述六棱柱贯穿在依次排列的第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的安装孔中。

7.根据权利要求1所述的硅片纠正机构，其特征在于：所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板的纵截面为大小相同的长方形。

8.根据权利要求1所述的硅片纠正机构，其特征在于：所述第一纠正板、第二纠正板、第三纠正板均为陶瓷板。