[发明专利]平面面板显示器制造装置

说明书

本发明涉及一种具有静电消除装置的平面面板显示器制造装置，该静电消除装置适于在高真空下的玻璃基板的静电消除。平面面板显示器制造装置(ID)具备有：处理舱室(1)，其对玻璃基板(S)施予加工处理；以及搬运路径(3)，其形成将玻璃基板(S)搬入或搬出处理舱室(1)的搬入搬出路径；其中，处理舱室(1)及搬运路径(3)为处于真空环境下，且静电消除装置(O)连接于构成搬运路径(3)的真空容器的外壁面，该静电消除装置(O)朝向真空容器的内侧释放玻璃基板(S)的静电消除用的电子。

技术领域

本发明涉及在真空下对玻璃基板施予既定处理的平面面板显示器制造装置，以及具有消除玻璃基板上带电电荷的静电消除功能的装置。

背景技术

液晶显示器或等离子显示器(plasma display)、有机EL显示器等的平面面板显示器的制造步骤是在真空下实施。

就制造步骤的具体例而言，可举出有导入杂质用的离子置入步骤、或电路图案构图用的曝光步骤、薄膜成膜用的成膜步骤等。

当实施各步骤时，要进行：使用搬运机器人等将玻璃基板搬入搬出处理舱室、或使用基板支持机构的玻璃基板的处理位置的定位。

在要进行玻璃基板的搬运或定位时，因受在物体间的摩擦和/或剥离，而在玻璃基板上会有带电电荷。若保持着带电电荷的状态，会产生玻璃基板的黏附或静电放电。而且，由于被带电玻璃基板吸引的粒子为主因，有造成基板处理不良的疑虑。

因此，以往都是利用等离子来进行玻璃基板的电荷的静电消除。

具体而言，有专利文献1或专利文献2所述的采用离子发生器(ionizer)的静电消除方法。在该静电消除方法中，是在真空排气后的舱室内填充氮气或氩气等的惰性气体。然后，对该气体照射紫外线、或在惰性气体环境内点亮等离子，借此电离惰性气体使的等离子化。最后，以使玻璃基板暴露在经产生的惰性气体的等离子的方式，来对玻璃基板进行带电的电荷的静电消除。

(现有技术文献)

(专利文献)

专利文献1：日本特开2004-241420

专利文献2：日本特开平9-324260。

发明内容

(发明所欲解决的课题)

在专利文献1或专利文献2所述的方法中，在静电消除时必须预先在舱室内填充惰性气体，所以较不合适在高真空下的使用。

本发明中提供一种平面面板显示器制造装置，其具有适合在高真空下的玻璃基板的静电消除的静电消除装置。

(用以待解决课题的方法)

本发明的平面面板显示器制造装置，具备有：

处理舱室，其对玻璃基板施予加工处理；以及

搬运路径，其形成将玻璃基板搬入搬出所述处理舱室的搬入搬出路径；

所述处理舱室和所述搬运路径为处于真空环境下，

于构成所述搬运路径的真空容器的外壁面，连接有朝向所述真空容器的内侧释放所述玻璃基板的静电消除用的电子的静电消除装置。

将带负电的玻璃基板还设为静电消除对象时，最优选的是：

所述静电消除装置具备有：

通过被导入的气体的电离，在舱室内产生等离子的等离子舱室；并从同舱室内释放所述玻璃基板的静电消除用的等离子。

为了改善被导入至等离子舱室内的气体的利用效率，最优选的是：

所述静电消除装置具备有：