[发明专利]一种采用MEMS的高清指纹成像组件

说明书

本发明涉及摄像头及小型视频采集器技术领域，具体公开了一种采用MEMS的高清指纹成像组件，包括FPC以及设置在FPC上的CMOS传感器，所述CMOS传感器上设置有MEMS光学器件，还设有与所述CMOS传感器、所述MEMS光学器件电气连接的运算器件。本发明提供的一种采用MEMS的高清指纹成像组件，MEMS光学器件及其红外光谱特征、二百万高清成像效果，其图像合成质量和图像阵系列化输出数据的有效性得到显著提高，能清晰还原指纹纹理中汗腺生物信息，有效防止用户安全信息泄露，识别指数高，同时其组件的整体高度及生产制造成本得到有效降低，提高了产品组装的生产效率，达到终端产品工业量产时超薄结构的安装要求，具有高性价比、高合格率。

技术领域

本发明涉及摄像头及小型视频采集器技术领域，尤其涉及一种采用MEMS的高清指纹成像组件。

背景技术

随着消费市场对生物采集等产品在结构上越来越小的体积要求，产品的高度及安装结构位置要求也越来越严格，需要封装小体积化。现在采集指纹方式就通常有以下二种方式：

1.普通折射光学指纹传感器，其产品均为镜头加底座及折射棱镜，使用单一成像系统，但因光折射原因，指纹分辨率低且因折射棱镜安装高度过大；

2.半导体电容式传感器，只能采集到模糊的指纹纹理，只能满足508DPI的低分辨率。

这两种指纹采集器因分辨率低均无法检测到手指汗腺等细微特征点数据，也无法区别真假指纹生物特征，特别是通过假指纹可进入系统获得用户安全信息，同时使用小体积封装对生产工艺要求极高，在组件产品量产时合格率比较低，使生产成本较高，达不到工业量产时高性价比、高合格率的要求。

发明内容

本发明提供一种采用MEMS的高清指纹成像组件，解决的技术问题是，现在的指纹采集器无法检测到手指汗腺等细微特征点数据，同时不能满足小体积封装对生产工艺及成本上的要求。

为解决以上技术问题，本发明提供一种采用MEMS的高清指纹成像组件，包括FPC以及设置在FPC上的CMOS传感器，所述CMOS传感器上设置有MEMS光学器件，还设有与所述CMOS传感器、所述MEMS光学器件电气连接的运算器件。

具体地，所述MEMS光学器件上设置有透明镜片，所述透明镜片包括透明介质层，以及真空喷涂在所述透明介质层上表面的含氟聚合物层，以及贴附在所述透明介质层下表面的IPO导电膜，所述IPO导电膜连接所述运算器件。

具体地，所述透明介质层包括上透明介质层、下透明介质层；所述上透明介质层的上表面真空电镀有第一红外滤光膜、下表面真空电镀有第二红外滤光膜。

优选地，所述第一红外滤光膜的滤光波长为820um，所述第二红外滤光膜的滤光波长为920um。

具体地，所述下透明介质层的中间内部设有经过化学腐蚀及光刻工艺而成的淘空部位；

所述淘空部位真空电镀有X轴矩阵网格电极、Y轴矩阵网格电极；

所述X轴矩阵网格电极与所述Y轴矩阵网格电极的交叉点设有可变光学孔，以及驱动所述可变光学孔的X轴光驱动道路与Y轴光驱动道路，所述X轴光驱动道路与Y轴光驱动道路通过所述FPC连接所述运算器件；

所述X轴光驱动道路与所述Y轴光驱动道路之间均匀分布有IR发光单元，所述IR发光单元的下部设置有高反射薄膜，所述高反射薄膜的最下方采用亚黑吸光材质。

优选地，所述下透明介质层选用单晶硅透明材质。

至少地，所述运算器件设有通过所述FPC连接所述IPO导电膜的MEMS驱动模组，以及连接所述X轴光驱动道路与Y轴光驱动道路的定标数据模组，以及连接触控电路的FLASH存储模组及输出数据接口；所述MEMS驱动模组连接外部触控电路。