[发明专利]一种采用MEMS的高清指纹成像组件

权利要求书

1.一种采用MEMS的高清指纹成像组件，其特征在于，包括FPC以及设置在FPC上的CMOS传感器，所述CMOS传感器上设置有MEMS光学器件，还设有与所述CMOS传感器、所述MEMS光学器件电气连接的运算器件；

所述MEMS光学器件上设置有透明镜片，所述透明镜片包括透明介质层，以及真空喷涂在所述透明介质层上表面的含氟聚合物层，以及贴附在所述透明介质层下表面的IPO导电膜，所述IPO导电膜连接所述运算器件；

所述透明介质层包括上透明介质层、下透明介质层；所述上透明介质层的上表面真空电镀有第一红外滤光膜、下表面真空电镀有第二红外滤光膜；

所述第一红外滤光膜的滤光波长为820um，所述第二红外滤光膜的滤光波长为920um；

所述下透明介质层的中间内部设有经过化学腐蚀及光刻工艺而成的淘空部位；

所述淘空部位真空电镀有X轴矩阵网格电极、Y轴矩阵网格电极；

所述X轴矩阵网格电极与所述Y轴矩阵网格电极的交叉点设有可变光学孔，以及驱动所述可变光学孔的X轴光驱动道路与Y轴光驱动道路，所述X轴光驱动道路与Y轴光驱动道路通过所述FPC连接所述运算器件；

所述X轴光驱动道路与所述Y轴光驱动道路之间均匀分布有IR发光单元，所述IR发光单元的下部设置有高反射薄膜，所述高反射薄膜的最下方采用亚黑吸光材质。

2.如权利要求1所述的一种采用MEMS的高清指纹成像组件，其特征在于：所述下透明介质层选用单晶硅透明材质。

3.如权利要求2所述的一种采用MEMS的高清指纹成像组件，其特征在于：所述运算器件设有通过所述FPC连接所述IPO导电膜的MEMS驱动模组，以及连接所述X轴光驱动道路与Y轴光驱动道路的定标数据模组，以及连接外部触控电路的FLASH存储模组及输出数据接口；所述MEMS驱动模组连接外部触控电路。

4.如权利要求3所述的一种采用MEMS的高清指纹成像组件，其特征在于：所述触控电路与所述输出数据接口之间设有I²C传输通道、MCLK时钟传输通道、MIPI差分数据传输通道。

5.如权利要求1所述的一种采用MEMS的高清指纹成像组件，其特征在于：所述透明镜片与所述MEMS光学器件之间、所述MEMS光学器件与所述CMOS传感器之间通过透光率为80%的填充水胶粘合。