[发明专利]一种抑制晶体硅电池光致衰减的方法在审
申请号: | 201711352636.2 | 申请日: | 2017-12-15 |
公开(公告)号: | CN108110085A | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 何广东;金井升;张昕宇;金浩;赵世杰 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/228 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光致衰减 硅片 晶体硅电池 有机物溶液 退火 惰性气体气氛 太阳能电池片 碳原子 烘干 硼氧 预设 制绒 分解 扩散 申请 | ||
1.一种抑制晶体硅电池光致衰减的方法,其特征在于,包括:
在制绒后的硅片上均匀分布具有预设浓度的有机物溶液;
烘干所述硅片;
在惰性气体气氛中,对所述硅片进行退火,将所述有机物溶液中的碳原子分解出来并扩散进所述硅片内。
2.根据权利要求1所述的抑制晶体硅电池光致衰减的方法,其特征在于,所述有机物溶液为葡萄糖溶液。
3.根据权利要求1所述的抑制晶体硅电池光致衰减的方法,其特征在于,所述预设浓度的范围为0.5mol/L至1.0mol/L。
4.根据权利要求1所述的抑制晶体硅电池光致衰减的方法,其特征在于,所述烘干所述硅片为:
在100℃至150℃的温度下,烘干所述硅片,持续5分钟至10分钟。
5.根据权利要求1所述的抑制晶体硅电池光致衰减的方法,其特征在于,所述惰性气体为氮气。
6.根据权利要求1-5任一项所述的抑制晶体硅电池光致衰减的方法,其特征在于,所述对所述硅片进行退火包括:
在300℃至400℃的温度下,对所述硅片进行第一次退火,持续5分钟至10分钟;
在400℃至500℃的温度下,对所述硅片进行第二次退火,持续20分钟至30分钟。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的