[发明专利]一种镜片分层镀膜方法在审
申请号: | 201711351148.X | 申请日: | 2017-12-15 |
公开(公告)号: | CN108070827A | 公开(公告)日: | 2018-05-25 |
发明(设计)人: | 吴晓彤 | 申请(专利权)人: | 奥特路(漳州)光学科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/02;G02B1/10 |
代理公司: | 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 | 代理人: | 翁志霖 |
地址: | 360000 福建省漳*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镜片 镀膜 分层 膜层 镜片基片 退火处理 制备 制备金属氧化物 离子轰击清洗 孔洞 变色材料 镀膜步骤 氟化物膜 加硬处理 镜片基体 孔洞现象 真空腔室 薄膜层 抽真空 加硬膜 真空腔 两层 清洗 取出 室内 分解 释放 | ||
本发明公开一种镜片分层镀膜方法,其包括以下步骤:步骤1:清洗镜片基体表面并固定在真空腔室内;步骤2:对真空腔室抽真空;步骤3:镜片基片加硬膜层,步骤4:将加硬处理后的镜片进行退火处理:步骤5:将退火处理后的镜片基片离子轰击清洗3‑5分钟,步骤6:制备变色材料薄膜层,步骤7:制备金属氧化物膜层的,步骤8:氟化物膜层的制备,步骤9:解除真空,取出镜片。本发明将每一膜层的镀膜步骤分解为至少两层分层的步骤,分步释放镀膜中形成的应力,减少膜层的应力,分层镀膜具有较少的孔洞,减少了孔洞现象的发生。
技术领域
本发明涉及镜片技术领域,尤其涉及一种镜片分层镀膜方法。
背景技术
随着光学产品的发展,光学镜片的应用范围越来越广。在镜片表面镀制光学薄膜系光学薄膜技术应用范围之一,镜片经过不同的镀膜处理后,可以形成减少反射光、截止紫外线、阻挡红外线、防水、防雾、防雾、防腐蚀、耐摩擦及彩色装饰、光致变色等多种效果,为人们的工作和生活带来新的价值,这种眼镜片也叫加膜镜片或镀膜眼镜片。近年来,随着人们消费水平的不断提高,各种镀膜眼镜片愈来愈受消费者的青睐,市场行情日益走俏。
镀膜工序为后续处理中的重要步骤之一,镀膜是指以物理或化学方法在光学元件表面镀上单层或多层薄膜,利用入射、反射及透射光线在薄膜界面产生的干涉作用实现聚焦、准直、滤光、反射及折射等效果。然而,实际生产中发现,经历上述镀膜在形成的膜层中,易存在孔洞,对于较厚(如厚度超过3 微米)的镀膜层尤为严重。。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种镜片分层镀膜方法。
本发明采用的技术方案是:
一种镜片分层镀膜方法,其包括以下步骤:
步骤1:清洗镜片基体表面并固定在真空腔室内;
步骤2:对真空腔室抽真空;使得真空度不高于3×10
步骤3:加硬膜层:将镜片基片浸入甲基硅树脂强化溶液中,保持真空腔室内加硬处理温度为115-125℃,2小时后将镜片基片取出并送至烘干箱内干燥固化,烘干温度120℃,固化时间60分钟 ,
步骤4:退火处理:将加硬处理后的镜片进行退火处理:
步骤5:二次清洗:将退火处理后的镜片基片置于真空镀膜舱内,用霍尔离子源对镜片基片进行离子轰击3-5分钟,
步骤6:制备变色材料薄膜层:在所述镜片基片上顺序执行至少两层该变色材料分层的镀膜操作,各变色材料分层的厚度之和等于变色材料薄膜层的厚度;
步骤7:制备金属氧化物膜层的:在变色材料薄膜层的基础上顺序执行至少两层该金属氧化物分层的镀膜操作,各金属氧化物分层的厚度之和等于金属氧化物膜层的厚度;
步骤8:氟化物膜层的制备:在金属氧化物膜层的基础上顺序执行至少两层该氟化物分层的镀膜操作,各氟化物分层的厚度之和等于氟化物膜层的厚度;
步骤9:解除真空:关闭分子泵,开启进气阀,通入空气,取出镜片。
进一步地,步骤1中采用酒精溶剂或超声波清洗镜片表面。
进一步地,步骤1具体包括以下步骤:
步骤1-1:为了去除树脂镜片基体表面的有机物,先用双氧水和浓硫酸的混合溶液浸泡,再超声25min后用去离子水清洗;
步骤1-2:把镜片基体先后放入丙酮溶液、乙醇溶液和去离子水中超声30min,以提高树脂镜片基体表面活性,从而增加薄膜与树脂镜片基体材料的结合力;
步骤1-3:清洗结束后将树脂镜片基体置于烘箱干燥,干燥后固定在基片台上,然后将基片台旋紧在真空腔室的转盘上。
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