[发明专利]一种镜片分层镀膜方法

权利要求书

1.一种镜片分层镀膜方法，其特征在于：其包括以下步骤：

步骤1：清洗镜片基体表面并固定在真空腔室内；

步骤2：对真空腔室抽真空；使得真空度不高于3×10-7 Pa，

步骤3：加硬膜层：将镜片基片浸入甲基硅树脂强化溶液中，保持真空腔室内加硬处理温度为115-125℃，2小时后将镜片基片取出并送至烘干箱内干燥固化，烘干温度120℃，固化时间60分钟 ，

步骤4：退火处理：将加硬处理后的镜片进行退火处理：

步骤5：二次清洗：将退火处理后的镜片基片置于真空镀膜舱内，用霍尔离子源对镜片基片进行离子轰击3-5分钟，

步骤6：制备变色材料薄膜层：在所述镜片基片上顺序执行至少两层该变色材料分层的镀膜操作，各变色材料分层的厚度之和等于变色材料薄膜层的厚度；

步骤7：制备金属氧化物膜层的：在变色材料薄膜层的基础上顺序执行至少两层该金属氧化物分层的镀膜操作，各金属氧化物分层的厚度之和等于金属氧化物膜层的厚度；

步骤8：氟化物膜层的制备：在金属氧化物膜层的基础上顺序执行至少两层该氟化物分层的镀膜操作，各氟化物分层的厚度之和等于氟化物膜层的厚度；

步骤9：解除真空：关闭分子泵，开启进气阀，通入空气，取出镜片。

2.根据权利要求1所述的一种镜片分层镀膜方法，其特征在于：步骤1中采用酒精溶剂或超声波清洗镜片表面。

3.根据权利要求2所述的一种镜片分层镀膜方法，其特征在于：步骤1具体包括以下步骤：

步骤1-1:为了去除树脂镜片基体表面的有机物，先用双氧水和浓硫酸的混合溶液浸泡，再超声25min后用去离子水清洗；

步骤1-2:把镜片基体先后放入丙酮溶液、乙醇溶液和去离子水中超声30min，以提高树脂镜片基体表面活性，从而增加薄膜与树脂镜片基体材料的结合力；

步骤1-3:清洗结束后将树脂镜片基体置于烘箱干燥，干燥后固定在基片台上，然后将基片台旋紧在真空腔室的转盘上。

4.根据权利要求3所述的一种镜片分层镀膜方法，其特征在于：步骤1-1中双氧水和浓硫酸的体积比为3：1。

5.根据权利要求1所述的一种镜片分层镀膜方法，其特征在于：变色材料薄膜层的各个变色材料分层的厚度相同。

6.根据权利要求5所述的一种镜片分层镀膜方法，其特征在于：变色材料分层的镀膜方法：保持真空腔室的真空度达到2×10-7Pa，同时保持真空腔室内的温度为50-70℃，启动电子束枪，调整电子束的位置，同时控制第四膜层蒸镀的速率为2.5Å/S；调节束流，在加硬膜层的表面上蒸镀一层变色材料薄膜，关闭电子束枪。

7.根据权利要求1所述的一种镜片分层镀膜方法，其特征在于：金属氧化物膜层的各个金属氧化物分层的厚度相同。

8. 根据权利要求7所述的一种镜片分层镀膜方法，其特征在于：金属氧化物分层的镀膜方法：保持真空腔室的真空度达到2×10-7 Pa，同时保持真空腔室内的温度为50-70℃，启动电子束枪，调整电子束的位置，同时控制第四膜层蒸镀的速率为2.5Å/S；调节束流，在减反射膜层的表面上蒸镀金属氧化物膜层，关闭电子束枪。

9.根据权利要求1所述的一种镜片分层镀膜方法，其特征在于：氟化物膜层的各个氟化物分层的厚度相同。

10. 根据权利要求9所述的一种镜片分层镀膜方法，其特征在于：氟化物分层的镀膜方法：保持真空腔室的真空度达到3×10-7 Pa，同时保持真空腔室内的温度为50-70℃，启动电子束枪，调整电子束的位置，同时控制第四膜层蒸镀的速率为7.0Å/S；调节束流，在金属氧化物膜层的表面上蒸镀氟化物膜层，关闭电子束枪。