[发明专利]蒸镀机及其冷板结构

说明书

一种蒸镀机及其冷板结构，其中冷板结构用于与需要蒸镀的基板贴合，该冷板结构包括：冷板，冷板用于与基板贴合；静电产生组件，静电产生组件包括电荷产生单元、电荷传输单元以及电荷接收单元，电荷产生单元用于产生电荷，电荷产生单元与电荷传输单元连接，电荷传输单元与电荷接收单元连接，电荷传输单元用于传输电荷，电荷接收单元用于接收电荷并产生静电以使冷板静电吸附基板。上述蒸镀机及其冷板结构，在将冷板与基板贴合后，使电荷产生单元产生电荷，电荷接收单元存储电荷产生静电，使冷板静电吸附基板，从而使玻璃在静电的作用下，能够克服重力造成的自身下垂，使得蒸镀机的冷板和基板能够紧密贴合，减小混色不良的发生概率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及一种蒸镀机及其冷板结构。

背景技术

由于OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)显示器的自发光、广视角、低功耗、反应时间短、面板薄及可挠曲等特性，近年来，其以成为国内外非常热门的新兴平面显示器产品。

OLED根据驱动方式可分为AM-OLED(Active Matrix Organic Light EmittingDiode，有源驱动式有机发光二极管)和PM-OLED(Passive Matrix Organic LightEmitting Diodes，无源驱动式有机发光二极管)，PM-OLED由于驱动方式的限制，只应用于小尺寸面板，应用范围小；而AM-OLED的每个子像素单元都具有各自开关功能的TFT(ThinFilm Transistor，薄膜晶体管)，因此具有极广的应用范围。

全彩AM-OLED显示器一般由多个循环的R(red，红)、G(green，绿)和B(blue，蓝)三个子像素构成，三个子像素的材料通过真空热蒸镀的方式形成在玻璃基板上。采用真空热蒸镀的方式进行生产和制造高PPI(pixels per inch，每英寸所拥有的像素数目)的OLED单元时，需将蒸镀机的冷板、玻璃基板和精细掩模板三者紧密贴合，以防止蒸镀R/G/B子像素的材料时造成混色，同时也用于保证蒸镀像素的位置精度。但是由于玻璃基板的自身下垂度，尤其是大尺寸、重量大的玻璃基板，自身下垂度大，造成蒸镀机冷板和玻璃基板并不能够紧密贴合，使得混色不良的发生概率很高。

发明内容

基于此，有必要针对由于玻璃基板的自身下垂度，尤其是大尺寸、重量大的玻璃基板，自身下垂度大，造成蒸镀机冷板和玻璃基板并不能够紧密贴合，使得混色不良的发生概率很高的技术问题，提供一种蒸镀机及其冷板结构。

一种蒸镀机的冷板结构，用于与需要蒸镀的基板贴合，该冷板结构包括：冷板，所述冷板用于与所述基板贴合；静电产生组件，所述静电产生组件包括电荷产生单元、电荷传输单元以及电荷接收单元，所述电荷产生单元用于产生电荷，所述电荷产生单元与所述电荷传输单元连接，所述电荷传输单元与所述电荷接收单元连接，所述电荷传输单元用于传输电荷，所述电荷接收单元设置在所述冷板上，所述电荷接收单元用于接收电荷并产生静电以使所述冷板静电吸附所述基板。

在其中一个实施例中，所述静电产生组件还包括第一开关单元，所述电荷产生单元通过所述第一开关单元与所述电荷传输单元连接，所述第一开关单元用于控制所述电荷产生单元与所述电荷传输单元之间的电荷传输。

在其中一个实施例中，所述静电产生组件还包括电荷消除单元，所述静电消除单元与所述电荷传输单元连接，所述电荷消除单元用于消除所述电荷接收单元上的静电。

在其中一个实施例中，所述静电产生组件还包括第二开关单元，所述电荷消除单元通过所述第二开关单元与所述电荷传输单元连接，所述第二开关单元用于控制所述电荷传输单元与所述电荷消除单元之间的电荷传输。

在其中一个实施例中，所述冷板开设有第一凹槽，所述电荷接收单元容置在所述第一凹槽内。

在其中一个实施例中，所述第一凹槽的开口背向所述基板，且所述第一凹槽的底部邻近所述基板。