[发明专利]蒸镀机及其冷板结构

权利要求书

1.一种蒸镀机的冷板结构，用于与需要蒸镀的基板贴合，其特征在于，该冷板结构包括：

冷板，所述冷板用于与所述基板贴合；

静电产生组件，所述静电产生组件包括电荷产生单元、电荷传输单元以及电荷接收单元，所述电荷产生单元用于产生电荷，所述电荷产生单元与所述电荷传输单元连接，所述电荷传输单元与所述电荷接收单元连接，所述电荷传输单元用于传输电荷，所述电荷接收单元设置在所述冷板上，所述电荷接收单元用于接收电荷并产生静电以使所述冷板静电吸附所述基板；所述冷板开设有第一凹槽，所述电荷接收单元容置在所述第一凹槽内；所述电荷接收单元包括若干电荷接收子单元，各所述电荷接收子单元分别与所述电荷传输单元连接；

所述静电产生组件还包括第一开关单元，所述电荷产生单元通过所述第一开关单元与所述电荷传输单元连接，所述第一开关单元用于控制所述电荷产生单元与所述电荷传输单元之间的电荷传输；

所述静电产生组件还包括电荷消除单元，所述静电消除单元与所述电荷传输单元连接，所述电荷消除单元用于消除所述电荷接收单元上的静电；

所述静电产生组件还包括第二开关单元，所述电荷消除单元通过所述第二开关单元与所述电荷传输单元连接，所述第二开关单元用于控制所述电荷传输单元与所述电荷消除单元之间的电荷传输。

2.根据权利要求1所述的冷板结构，其特征在于，所述电荷产生单元为静电发生器，所述静电发生器由高压直流电源和静电发射棒组成。

3.根据权利要求1所述的冷板结构，其特征在于，所述电荷接收单元为金属材料或非金属材料。

4.根据权利要求1所述的冷板结构，其特征在于，所述电荷消除单元为静电消除器。

5.根据权利要求1所述的冷板结构，其特征在于，所述电荷接收单元为一矩形块，所述矩形块包括金属层和绝缘层，所述绝缘层包覆所述金属层。

6.根据权利要求5所述的冷板结构，其特征在于，所述第一凹槽的开口背向所述基板，且所述第一凹槽的底部邻近所述基板。

7.根据权利要求1所述的冷板结构，其特征在于，各所述电荷接收子单元分别设置在所述冷板上且均匀排布。

8.根据权利要求7所述的冷板结构，其特征在于，所述冷板开设有若干第二凹槽，各所述电荷接收子单元与各所述第二凹槽一一对应，每一所述电荷接收子单元容置于其对应的所述第二凹槽内。

9.根据权利要求8所述的冷板结构，其特征在于，所述第二凹槽背向所述基板，且所述第二凹槽的底部邻近所述基板。

10.一种蒸镀机，其特征在于，包括根据权利要求1至9中任一项所述的冷板结构。