[发明专利]一种用于将高频功率耦合输入到谐振腔中的装置

权利要求书

1.一种用于将高频功率耦合输入到谐振腔中的装置,其特征在于，包括耦合板(1)、耦合环(2)、法兰(3)、支撑环(4)、指针(5)、密封陶瓷(6)、同轴波导(7)和谐振腔(8)；

其中，所述同轴波导(7)包括外导体(701)、内导体(702)和输入端口(703)，所述外导体(701)与内导体(702)同轴设置；所述内导体(702)和外导体(701)之间连接有支撑环(4)和密封陶瓷(6)；外导体(701)具有法兰(3)；所述输入端口(703)用于与功率源的输出端口连接；

其中，所述耦合板(1)是一空心圆盘，所述耦合板上开有凹槽，凹槽尺寸与外导体(701)尺寸对应；所述耦合板(1)设置于同轴波导(7)底部，所述耦合板(1)通过凹槽与外导体(701)紧密贴合；

其中，所述耦合环(2)设置于同轴波导(7)底部，其中一端与内导体(702)的连接于同轴波导(7)的轴线上，另一端连接于耦合板(1)处。

2.根据权利要求1所述的一种用于将高频功率耦合输入到谐振腔中的装置，其特征在于，所述耦合板(1)设置于谐振腔(8)开口处，所述耦合板(1)的尺寸大于谐振腔(8)开口的尺寸；通过所述耦合环(2)产生的交变磁场，将功率源输出级产生的高频功率耦合输入到谐振腔中，而同轴波导(7)沿纵向方向输送该高频功率。

3.根据权利要求1所述的一种用于将高频功率耦合输入到谐振腔中的装置，其特征在于，所述支撑环(4)用于内导体(702)和外导体(701)之间的支撑；所述支撑环(4)由对电磁场影响小的材料制成，所述支撑环(4)采用聚四氟乙烯制成。

4.根据权利要求1所述的一种用于将高频功率耦合输入到谐振腔中的装置，其特征在于，所述外导体(701)为带有圆形横截面的空心柱形，所述内导体(702)形状为圆柱形；所述同轴波导(7)由金属材料制成，所述外导体(701)可采用不锈钢制成，内导体(702)可采用无氧铜制成。

5.根据权利要求1所述的一种用于将高频功率耦合输入到谐振腔中的装置，其特征在于，所述耦合板(1)和耦合环(2)均由导电材料制成，所述导电材料采用无氧铜。

6.根据权利要求1所述的一种用于将高频功率耦合输入到谐振腔中的装置，其特征在于，所述指针(5)设置于法兰(3)处，所述指针(5)用于在转动耦合装置时记录转动的角度。

7.根据权利要求1所述的一种用于将高频功率耦合输入到谐振腔中的装置，其特征在于，所述密封陶瓷(6)用于抽真空后的密封。