[发明专利]一种适用于高纯氯硅烷的充装系统及其充卸料方法

说明书

一种适用于高纯氯硅烷的充装系统及其充卸料方法，其主要涉及物料充装领域。该充装系统通过对常规氮气管线系统与尾气管线系统进行并联连通，对第一高纯氮气管线系统与尾气管线系统进行并联连通，对第二高纯氮气管线系统与卸车管线系统进行并联连通，对装车管线系统与尾气管线系统和卸车管线系统均进行并联连通，实现了对高纯氯硅烷的充卸料和吹扫置换，解决了高纯物料充装、卸车过程面临的物料污染、环境污染、设备腐蚀等问题，取得了保护充装系统设备、防止物料污染和环境污染的技术效果；通过设置PLC控制系统，提高了充装系统的充卸料效率，故上述的充装系统及其充卸料方法表现出了较高的实用价值，具备重要的推广应用价值。

技术领域

本发明涉及物料充装领域，具体而言，涉及一种适用于高纯氯硅烷的充装系统及其充卸料方法。

背景技术

在进行高纯氯硅烷物料装车和卸车的过程中，传统的充装、卸车方式是采用鹤管进行的，鹤管上有物料进出口，置换口，装卸车完毕后，鹤管内的物料通过惰性气体置换，难以完全置换完毕，存在物料挂壁现象，有残留，在拆卸鹤管与TANK罐车之间连接法兰时，会出现法兰端面水解，形成二氧化硅和氯化氢，形成的二氧化硅和氯化氢难以彻底清除，在下次充装时会随着物料被带到罐车或系统内，造成物料污染，严重情况下可能导致整批物料污染，给企业带来巨大的经济损失；另外，拆管过程中产生的氯化氢对管道、环境也会造成腐蚀、污染。

发明内容

本发明的目的在于提供适用于高纯氯硅烷的充装系统，其能够解决高纯物料充装、卸车过程面临的物料污染、环境污染、设备腐蚀等问题。

本发明的另一目的在于提供一种适用于高纯氯硅烷的充卸料方法，其利用上述的充装系统进行高纯氯硅烷的充卸料，其能够解决高纯物料充装、卸车过程面临的物料污染、环境污染、设备腐蚀等问题。

本发明的实施例是这样实现的：

一种适用于高纯氯硅烷的充装系统，其包括相互并联设置的常规氮气管线系统、高纯氮气管线系统、尾气管线系统、装车管线系统以及卸车管线系统，其中，常规氮气管线系统与尾气管线系统并联连通，高纯氮气管线系统包括第一高纯氮气管线系统和第二高纯氮气管线系统，第一高纯氮气管线系统与尾气管线系统并联连通，第二高纯氮气管线系统与卸车管线系统并联连通；装车管线系统与尾气管线系统和卸车管线系统均并联连通。

进一步，在本发明较佳的实施例中，上述常规氮气管线系统、高纯氮气管线系统、尾气管线系统、装车管线系统和卸车管线系统相互之间对应设置有手动截止阀，从而控制着常规氮气管线系统、高纯氮气管线系统、尾气管线系统、装车管线系统和卸车管线系统相互之间对应的连通关系。

进一步，在本发明较佳的实施例中，上述充装系统可拆卸的内置于充装柜中，充装柜中设置有用于侦测HCl气体的泄露侦测装置。

进一步，在本发明较佳的实施例中，上述泄露侦测装置包括的气体侦测探头和控制器，气体侦测探头设置于充装柜顶部，且与控制器通信连接。

进一步，在本发明较佳的实施例中，上述充装系统还内置有与控制器通信电连接的抽风系统，当控制器接受气体侦测探头的报警信号时，控制器启动抽风系统进行工作并同时关闭充装系统的充装阀。

进一步，在本发明较佳的实施例中，上述充装系统还内置有用于对物料管线进行真空置换的文丘里真空装置。

进一步，在本发明较佳的实施例中，上述充装系统还设置了PLC控制系统，PLC控制系统与充装系统的各个阀门通信电连接；充装系统的管线中还连通设置有用于判断管道内物料是否完全被置换干净的pH检测器。

一种适用于高纯氯硅烷的充卸料方法，其包括：

对充装软管和与充装软管可拆卸对接的油罐箱阀门分别进行洁净清理并进行对接；通入置换气体依次进行试漏和第一次吹扫置换和充压卸料；