[发明专利]一种适用于高纯氯硅烷的充装系统及其充卸料方法

权利要求书

1.一种适用于高纯氯硅烷的充装系统，其特征在于，其包括相互并联设置的常规氮气管线系统、高纯氮气管线系统、尾气管线系统、装车管线系统以及卸车管线系统，其中，所述常规氮气管线系统与所述尾气管线系统并联连通，所述高纯氮气管线系统包括第一高纯氮气管线系统和第二高纯氮气管线系统，所述第一高纯氮气管线系统与所述尾气管线系统并联连通，所述第二高纯氮气管线系统与所述卸车管线系统并联连通；所述装车管线系统与所述尾气管线系统和所述卸车管线系统均并联连通。

2.根据权利要求1所述的适用于高纯氯硅烷的充装系统，其特征在于，所述常规氮气管线系统、所述高纯氮气管线系统、所述尾气管线系统、所述装车管线系统和所述卸车管线系统相互之间对应设置有手动截止阀，从而控制着所述常规氮气管线系统、所述高纯氮气管线系统、所述尾气管线系统、所述装车管线系统和所述卸车管线系统相互之间对应的连通关系。

3.根据权利要求1所述的适用于高纯氯硅烷的充装系统，其特征在于，所述充装系统可拆卸的内置于充装柜中，所述充装柜中设置有用于侦测HCl气体的泄露侦测装置。

4.根据权利要求3所述的适用于高纯氯硅烷的充装系统，其特征在于，所述泄露侦测装置包括气体侦测探头和控制器，所述气体侦测探头设置于所述充装柜顶部，且与所述控制器通信连接。

5.根据权利要求4所述的适用于高纯氯硅烷的充装系统，其特征在于，所述充装系统还内置有与所述控制器通信电连接的抽风系统，当所述控制器接受所述气体侦测探头的报警信号时，所述控制器启动所述抽风系统进行工作并同时关闭所述充装系统的充装阀。

6.根据权利要求1所述的适用于高纯氯硅烷的充装系统，其特征在于，所述充装系统还内置有用于对物料管线进行真空置换的文丘里真空装置。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的适用于高纯氯硅烷的充装系统，其特征在于，所述充装系统还设置了PLC控制系统，所述PLC控制系统与所述充装系统的各个阀门通信电连接；所述充装系统的管线中还连通设置有用于判断管道内物料是否完全被置换干净的pH检测器。

8.一种适用于高纯氯硅烷的充卸料方法，其特征在于，其包括：

对充装软管和与所述充装软管可拆卸对接的油罐箱阀门分别进行洁净清理并进行对接；通入置换气体依次进行试漏和第一次吹扫置换和充压卸料；

对管道系统残留的物料进行二次卸料，再对罐车泄压，使管道内残留物料倒流入罐车内，进而再对装料管道进行第二次吹扫置换，并在第二次吹扫置换结束后，对所述管道系统进行置换检查。

9.根据权利要求8所述的适用于高纯氯硅烷的充卸料方法，其特征在于，进行第一次吹扫置换和第二次吹扫置换时均依次包括惰性气体吹扫、真空吹扫和正压吹扫。

10.根据权利要求9所述的适用于高纯氯硅烷的充卸料方法，其特征在于，所述高纯氯硅烷包括四氯化硅、三氯氢硅、二氯二氢硅和甲基氯硅烷中的至少一种；所述置换气体包括高纯氮气、氢气和惰性气体。