[发明专利]一种Al-Sc合金靶材成型方法有效
| 申请号： | 201711302847.5 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108097722B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B21B3/00 | 分类号： | B21B3/00;B21B37/74;B21B38/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合金靶材 成型 胚料 轧制 保温 多道次轧制 降低生产 制造成本 变形率 流程化 预热 机械化 制造 重复 | ||
本发明提供了一种Al‑Sc合金靶材成型方法，属于Al‑Sc合金靶材制造领域，其中Al‑Sc合金靶材成型方法，其包括：将Al‑Sc胚料预热至550℃‑600℃；将Al‑Sc胚料在550℃‑600℃的温度下保温45min‑75min；轧制保温后的Al‑Sc胚料，轧制中每道次的变形率控制在10％以下；重复多道次轧制得到Al‑Sc合金靶材。通过发明提供的Al‑Sc合金靶材成型方法，可以降低生产过程中Al‑Sc胚料的开裂事故。实现了Al‑Sc合金靶材的机械化流程化成型，极大地提高了Al‑Sc合金靶材的制造效率，降低了Al‑Sc合金靶材的制造成本。
技术领域
本发明涉及Al-Sc合金靶材制造领域，具体而言，涉及一种Al-Sc 合金靶材成型方法。
背景技术
以目前的工艺对Al-Sc胚料进行加工，由于轧制变形量和温度没有固定的指导参数，使得Al-Sc合金靶材的成品率很低，基本靠操作人员临时反应，对操作人员的经验要求极高。
而且由于需要操作人员的临时反应，导致的Al-Sc合金靶材的制造难以机械化流程化。
发明内容
本发明提供了一种Al-Sc合金靶材成型方法，旨在解决现有技术中Al-Sc合金靶材成型方法存在的上述问题。
本发明是这样实现的：
一种Al-Sc合金靶材成型方法，其包括：
将Al-Sc胚料预热至550℃-600℃；
将所述Al-Sc胚料在550℃-600℃的温度下保温45min-75min；
轧制保温后的所述Al-Sc胚料，轧制中每道次的变形率控制在 10％以下；
重复多道次轧制得到Al-Sc合金靶材。
在本发明的一种实施例中，在轧制所述Al-Sc胚料前，还包括检测待轧制的所述Al-Sc胚料温度的步骤。
在本发明的一种实施例中，在检测待轧制的所述Al-Sc胚料温度的步骤后，将温度低于550℃的所述Al-Sc胚料的温度加热至550℃ -600℃。
在本发明的一种实施例中，在检测待轧制的所述Al-Sc胚料温度的步骤后，将温度高于600℃的所述Al-Sc胚料的温度冷却至550℃ -600℃。
在本发明的一种实施例中，在轧制所述Al-Sc胚料前，将轧机的轧辊预热至200℃-400℃。
在本发明的一种实施例中，在轧制所述Al-Sc胚料中，还包括监控轧制中的所述Al-Sc胚料温度的步骤，将温度低于500℃的所述 Al-Sc胚料拉出轧机加热到550℃-600℃。
在本发明的一种实施例中，将所述Al-Sc胚料在550℃-600℃的温度下保温60min。
在本发明的一种实施例中，将所述Al-Sc胚料在550℃-600℃的温度下保温的步骤在电阻式加热炉内进行。
在本发明的一种实施例中，在轧制所述Al-Sc胚料中，轧制中每道次的变形率控制在5％-10％。
在本发明的一种实施例中，所述Al-Sc胚料按质量百分比计包括 80-86％的Al，余量为Sc。
本发明的有益效果是：通过发明提供的Al-Sc合金靶材成型方法，可以降低生产过程中Al-Sc胚料的开裂事故。实现了Al-Sc合金靶材的机械化流程化成型，极大地提高了Al-Sc合金靶材的制造效率，降低了Al-Sc合金靶材的制造成本。
具体实施方式
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