[发明专利]一种Al-Sc合金靶材成型方法有效
| 申请号： | 201711302847.5 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108097722B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;陈勇军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B21B3/00 | 分类号： | B21B3/00;B21B37/74;B21B38/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵志远 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合金靶材 成型 胚料 轧制 保温 多道次轧制 降低生产 制造成本 变形率 流程化 预热 机械化 制造 重复 | ||
1.一种Al-Sc合金靶材成型方法，其特征在于，其包括：
将Al-Sc胚料预热至550℃-600℃；所述Al-Sc胚料按质量百分比计包括80-86％的Al，余量为Sc；
将所述Al-Sc胚料在550℃-600℃的温度下保温45min-60min；
轧制保温后的所述Al-Sc胚料，轧制中每道次的变形率控制在10％以下；在轧制所述Al-Sc胚料前，将轧机的轧辊预热至200℃-300℃；
重复多道次轧制得到Al-Sc合金靶材。
2.根据权利要求1所述的Al-Sc合金靶材成型方法，其特征在于，在轧制所述Al-Sc胚料前，还包括检测待轧制的所述Al-Sc胚料温度的步骤。
3.根据权利要求2所述的Al-Sc合金靶材成型方法，其特征在于，在检测待轧制的所述Al-Sc胚料温度的步骤后，将温度低于550℃的所述Al-Sc胚料的温度加热至550℃-600℃。
4.根据权利要求2所述的Al-Sc合金靶材成型方法，其特征在于，在检测待轧制的所述Al-Sc胚料温度的步骤后，将温度高于600℃的所述Al-Sc胚料的温度冷却至550℃-600℃。
5.根据权利要求1所述的Al-Sc合金靶材成型方法，其特征在于，在轧制所述Al-Sc胚料中，还包括监控轧制中的所述Al-Sc胚料温度的步骤，将温度低于500℃的所述Al-Sc胚料拉出轧机加热到550℃-600℃。
6.根据权利要求1所述的Al-Sc合金靶材成型方法，其特征在于，将所述Al-Sc胚料在550℃-600℃的温度下保温60min。
7.根据权利要求1所述的Al-Sc合金靶材成型方法，其特征在于，将所述Al-Sc胚料在550℃-600℃的温度下保温的步骤在电阻式加热炉内进行。
8.根据权利要求1所述的Al-Sc合金靶材成型方法，其特征在于，在轧制所述Al-Sc胚料中，轧制中每道次的变形率控制在5％-10％。
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