[发明专利]一种氢热等离子体法制备高纯纳米氮化铝的方法

权利要求书

1.一种氢热等离子体法制备高纯纳米氮化铝的方法，其特征在于：

通过直流电源使等离子体发生器启动；

将氮气和氢气作为放电气体导入所述等离子体发生器以使氮气和氢气在所述等离子发生器中产生电弧放电，形成以氮气和氢气为主体的高温等离子体射流；

将所述高温等离子体射流导入直管式反应器，与从设置在所述直管式反应器上的多个相向对称布置的进气孔利用载气氮气吹入的汽化的高纯铝粉发生作用，使得高温氮气与汽化的高纯铝粉进行反应，从而得到氮化铝粉末。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：通过改变所述氮气和氢气的流量和所述直流电源的输出功率控制所述等离子体射流的温度范围为6000-15000K，其中，所述氮气和氢气的总流量范围为1-100m3，氮气和氢气的体积比为1:1-1:3，所述直流电源的输出功率范围为10-1000kW。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述等离子体反应器是由耐高温的石墨作内衬的水冷夹套管型反应器，所述等离子体反应器的上口用于导入所述等离子体射流，所述等离子体反应器的内侧壁开设有1至8个相向对称布置的进气孔以导入所述汽化的高纯铝粉，在所述进气孔下30-50mm处还设置气孔以在反应时通入氨气。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述高纯铝粉的纯度大于99％，粒径为300-500目。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述氮化铝用酸洗进行保护。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，用去离子水对所述氮化铝进一步提纯。