[发明专利]压印装置及物品制造方法

说明书

本发明涉及压印装置及物品制造方法。压印装置包括保持模具的模具保持部，通过抽吸保持基板的基板保持部，通过使模具保持部与基板保持部相对彼此靠近来使模具与基板上的压印材料接触的驱动设备以及控制器。控制器在通过基于基板保持部保持的基板的表面形状数据而控制基板多个抽吸区域内部的压力以使基板相对于模具变形为凸状的状态下，控制驱动设备使模具与压印材料接触。

技术领域

本发明涉及一种压印装置和物品制造方法。

背景技术

作为制造诸如磁存储介质和半导体器件等的物品的一种光刻技术，压印技术正在实际使用。在压印装置中，通过使模具与基板上的压印材料接触来形成图案。此时可能引起图案缺陷，并且减少该缺陷是一项任务。引起图案缺陷的一个因素是当模具的图案部分与压印材料彼此接触时，气泡被困在模具与基板上的压印材料之间。如果压印材料在残留气泡的情况下固化，则可能会在所形成的图案中引起未填充的缺陷。

在US-2007-0114686中，当模具与基板上的压印材料接触时，模具中心处的图案部分在基板侧上变形成凸形，以使模具从中心到外部逐渐与压印材料接触，减少了残留气泡。从基板侧的观点换句话说，模具与压印材料之间的接触在基板上的投射区域(shotregion)的中心附近开始，并且接触区域延伸到投射区域的外部。

然而，从生产率的观点来看，不仅在基板中心的投射区域需要与正常投射区域相同的压印性能，而且部分地延伸出基板的周缘部分的周边投射区域(不足投射区域)也需要与正常投射区域相同的压印性能。

发明内容

本发明提供例如在生产率方面有利的压印装置。

本发明的第一方面提供一种压印装置，其进行通过使模具与基板上的压印材料接触来形成图案的压印处理，所述压印装置包括：被构造为保持模具的模具保持部；被构造为通过抽吸保持基板的基板保持部；驱动设备，其被构造为通过使模具保持部与基板保持部相对彼此靠近来使模具与压印材料接触；以及控制器，其被构造为以如下方式控制驱动设备：在通过基于基板保持部保持的基板的表面形状数据而控制基板保持部抽吸基板的压力以使基板相对于模具变形为凸状的状态下，使模具与压印材料接触。

本发明的第二方面提供一种压印装置，其进行通过使模具与基板上的压印材料接触来形成图案的压印处理，所述压印装置包括：被构造为保持模具的模具保持部；被构造为通过抽吸保持基板的基板保持部；驱动设备，其被构造为通过使模具保持部与基板保持部相对彼此靠近来使模具与压印材料接触；以及控制器，其被构造为以如下方式控制驱动设备：在通过控制基板保持部抽吸基板的压力而使基板相对于模具变形为凸状的状态下，使模具与压印材料接触，其中，根据作为压印处理目标的投射区域的位置，控制器控制当模具与供给到投射区域中的各个的压印材料彼此接触时的压力。

本发明的第三方面提供一种制造物品的物品制造方法，所述方法包括通过在第一方面或第二方面中限定的压印装置而在基板上形成图案，并且处理形成有图案的基板，其中，用处理过的基板制造物品。

通过下面参照附图对示例性实施例的描述，本发明的其他特征将变得清楚。

附图说明

图1是示出根据实施例的压印装置的布置的图；

图2是例示基板上的投射区域的布局的图；

图3A和图3B是各自示出根据实施例的模具的布置的图；

图4A和图4B是用于说明对模具的模芯(core-out)部分的控制的图；

图5A至图5C是用于说明在周边投射区域中压印时使基板变形的处理的图；

图6是用于说明使基板变形的机构的图；

图7示出基板卡盘的布置的图；

图8是用等高线表示基板的三维形状的图；