[发明专利]压印装置及物品制造方法

权利要求书

1.一种压印装置，其进行通过使模具与基板上的压印材料接触来形成图案的压印处理，所述压印装置包括：

模具保持部，其被构造为保持模具；

基板保持部，其被构造为通过抽吸保持基板；

驱动设备，其被构造为通过使模具保持部与基板保持部相对彼此靠近来使模具与压印材料接触；以及

控制器，其被构造为以如下方式控制驱动设备：在通过基于基板保持部保持的基板的表面形状数据而控制基板保持部抽吸基板的压力以使基板相对于模具变形为凸状的状态下，使模具与压印材料接触。

2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，在投射区域是具有基板的周缘的周边投射区域的情况下，控制器使基板相对于模具变形为凸状。

3.根据权利要求1所述的压印装置，其中，基板保持部包括多个抽吸区域，

所述压印装置包括压力调节器，所述压力调节器被构造为与所述多个抽吸区域连通并且调节各抽吸区域内部的压力，

所述多个抽吸区域被同心地分割，并且

控制器通过在将所述多个抽吸区域中的第一抽吸区域和第二抽吸区域的内部设置为负压的同时，将第一抽吸区域与第二抽吸区域之间的第三抽吸区域内部设置为正压，来使基板相对于模具变形为凸状并保持基板。

4.根据权利要求3所述的压印装置，其中，使所述多个抽吸区域分隔的多个分隔壁当中的最外周缘的分隔壁在高度上比其他分隔壁低。

5.根据权利要求3所述的压印装置，其中，控制器基于表面形状数据针对各个投射区域决定所述多个抽吸区域中的各个抽吸区域的内部的压力。

6.根据权利要求5所述的压印装置，其中，控制器基于通过拍摄压印处理中的压印材料而获得的拍摄图像数据来校正所决定的压力。

7.根据权利要求5所述的压印装置，其中，控制器基于施加到驱动设备的驱动电流来校正所决定的压力。

8.根据权利要求6所述的压印装置，其中，控制器还基于施加到驱动设备的驱动电流来校正所决定的压力。

9.根据权利要求1所述的压印装置，所述压印装置还包括测量设备，所述测量设备被构造为测量基板保持部保持的基板的高度，从而通过测量设备的测量结果获得表面形状数据。

10.根据权利要求1所述的压印装置，其中，控制器还以如下方式控制驱动设备：在模具被变形为使得模具的图案表面相对于基板具有凸状的状态下，使模具与压印材料接触。

11.一种压印装置，其进行通过使模具与基板上的压印材料接触来形成图案的压印处理，所述压印装置包括：

模具保持部，其被构造为保持模具；

基板保持部，其被构造为通过抽吸保持基板；

驱动设备，其被构造为通过使模具保持部与基板保持部相对彼此靠近来使模具与压印材料接触；以及

控制器，其被构造为以如下方式控制驱动设备：在通过控制基板保持部抽吸基板的压力而使基板相对于模具变形为凸状的状态下，使模具与压印材料接触，

其中，根据作为压印处理目标的投射区域的位置，控制器控制当模具与供给到投射区域中的各个的压印材料彼此接触时的压力。

12.一种制造物品的物品制造方法，所述方法包括：

通过在权利要求1至11中的任一项所限定的压印装置在基板上形成图案；并且

处理形成有图案的基板，

其中，用处理过的基板制造物品。