[发明专利]一种金刚石涂层的制备方法及其制备装置有效
| 申请号： | 201711267569.4 | 申请日： | 2017-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN108103476B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 许立;李丙文;马宁 | 申请（专利权）人： | 富耐克超硬材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27;C23C16/448;C23C16/02 |
| 代理公司： | 41128 郑州德勤知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王莉 |
| 地址： | 450001 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金刚石涂层 三聚氰胺 热丝 金刚石 反应气源 混合溶液 制备装置 醇溶液 制备 气相沉积法 表面沉积 发热效率 工业应用 气相沉积 使用寿命 无定形碳 装置结构 氢气 沉积室 甲烷 沉积 溶解 分解 生长 引入 | ||
1.一种金刚石涂层的制备方法，其包括以下步骤：
在50～70℃条件下，按照三聚氰胺和醇溶液的质量比为1：（80～140）的比例，将所述三聚氰胺溶解于所述醇溶液中，得到混合溶液；所述醇溶液为甲醇溶液、乙醇溶液或两者混合；
以甲烷和氢气为反应气源，在热丝功率为5～7 kW，热丝温度为2000～2500℃，压力为2～4 kPa 的条件下，将所述反应气源通入所述混合溶液中，并使所述反应气源携带所述混合溶液的蒸汽通入沉积室，利用热丝气相沉积法在经过预处理的基体的表面沉积金刚石涂层8～12 h，得到金刚石涂层；所述反应气源中甲烷的体积分数为1.5%～3%。
2.根据权利要求1所述的金刚石涂层的制备方法，其特征在于，得到所述金刚石涂层的步骤中，所述基体为依次经过喷砂清洗、干燥和化学前处理的硬质合金基体。
3.根据权利要求2所述的金刚石涂层的制备方法，其特征在于，经所述化学前处理的硬质合金基体的表面的钴元素的质量分数为3%～4%。
4.一种权利要求1～3任一项所述的金刚石涂层的制备方法所用的制备装置，其特征在于，它包括所述沉积室、与所述沉积室相连通的混合溶液制备装置和对所述混合溶液制备装置进行加热的水浴装置；所述混合溶液制备装置包括密闭不锈钢杯，所述密闭不锈钢杯上设置有反应气源进气管和出气管，所述反应气源进气管的一端伸入所述密闭不锈钢杯的底部；所述出气管的两端分别伸入所述密闭不锈钢杯和所述沉积室中。
5.根据权利要求4所述的金刚石涂层的制备方法所用的制备装置，其特征在于，所述出气管上设置有节流阀。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
